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《表面化學分析 二次離子質譜 飛行時間二次離子質譜儀的質量標的校準》意見征集
2020年06月22日 09:10:31
來源：化工儀器網 點擊量：5051
飛行時間二次離子質譜技術是一種非常靈敏的表面分析技術，通過用一次離子激發(fā)樣品表面，打出極其微量的二次離子，根據二次離子因不同的質量而飛行到探測器的時間不同來測定離子質量，是一種具有極高分辨率的測量技術。
【化工儀器網 政策標準】飛行時間二次離子質譜技術是一種非常靈敏的表面分析技術，通過用一次離子激發(fā)樣品表面，打出極其微量的二次離子，根據二次離子因不同的質量而飛行到探測器的時間不同來測定離子質量，是一種具有極高分辨率的測量技術。
雖然飛行時間二次離子質譜技術被廣泛應用于物理、化學、微電子、生物、制藥、空間分析等工業(yè)和研究方面，但目前該類儀器質量標的校準，既沒有行業(yè)標準也沒有國家標準，各檢測實驗室均采用自校驗的方式校準該類儀器，技術要求、校驗條件、校驗項目、校驗方法、校驗結果的處理也各不相同。為此，制定《表面化學分析 二次離子質譜 飛行時間二次離子質譜儀的質量標的校準》勢在必行。
中山大學測試中心一直以來從事表面分析相關技術的科研和分析測試工作，在儀器功能開發(fā)、硬件改造和數據格式開發(fā)等方面，取得了一定的成果。故而，《表面化學分析 二次離子質譜 飛行時間二次離子質譜儀的質量標的校準》是中山大學在國家標準化管理委員會的主管下，嚴格遵守GB/T 1.1-2009《標準化工作導則第1部分：標準的結構和編寫》和GB/T 20000.2-2009《標準化工作指南 第2部分：采用標準》中給出的規(guī)則和格式要求編寫的。
閱讀標準征求意見稿后可知，《表面化學分析 二次離子質譜 飛行時間二次離子質譜儀的質量標的校準》規(guī)定了一種優(yōu)化用于一般分析目的的飛行時間SIMS儀器的質量校準準確度的方法，適用于飛行時間儀器，但不限于任何特定的儀器設計。此外，標準還提供了一些儀器參數的指導，且這些參數可以使用此程序進行優(yōu)化，并且適用于校準質量標以獲得質量準確度的通用峰的類型。
為提高二次離子質譜飛行時間二次離子質譜儀的質量準確度，《表面化學分析 二次離子質譜 飛行時間二次離子質譜儀的質量標的校準》中還對獲取參考樣品以進行優(yōu)化、制備聚碳酸酯樣品、獲取SIMS譜數據、計算質量準確度、優(yōu)化儀器參數等做了詳細的介紹。
本標準的出臺能為新型儀器的校準提供技術依據，并使得從事該類儀器檢測工作的各類分析測試中心和實驗室能夠更好地為科研、社會、經濟建設和發(fā)展提供客觀、可比、有效的檢測數據。為此，希望相關單位在仔細研核后標準征求意見稿后能提出建設性的意見，為標準的完善添磚加瓦。
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