化工儀器網(wǎng)首頁>資訊中心>標(biāo)準(zhǔn)>正文

使用低溫傅立葉變換紅外光譜法 測定硅單晶的標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿發(fā)布
2021年03月04日 08:35:47 來源：化工儀器網(wǎng) 點(diǎn)擊量：8322

根據(jù)《國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)關(guān)于下達(dá)2020年推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃(修訂)的通知》(國標(biāo)委發(fā)[2020]6號)的要求，樂山市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)所修訂了《硅單晶中III、V 族雜質(zhì)含量的測定 低溫傅立葉變換紅外光譜法》。目前，標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿已經(jīng)發(fā)布，正面向社會(huì)征求意見。

　　【化工儀器網(wǎng) 標(biāo)準(zhǔn)】硅單晶是IC集成電路、半導(dǎo)體功率器件及太陽能光伏發(fā)電的基礎(chǔ)材料，硅單晶的重要電學(xué)參數(shù)導(dǎo)電類型和電阻率取決于硅單晶中III、V族雜質(zhì)的含量。而硅單晶是由高純度的多晶硅經(jīng)區(qū)熔或直拉的方式者拉制而成，因此多晶硅中III、V族雜質(zhì)的含量是影響硅單晶產(chǎn)品質(zhì)量的重要技術(shù)指標(biāo)。目前多晶硅中III、V族雜質(zhì)含量的測定方法繁瑣，已經(jīng)不能充分適應(yīng)目前半導(dǎo)體及太陽能光伏產(chǎn)業(yè)的需要，故而需要對GB/T24581-2009進(jìn)行修訂。
 
　　根據(jù)《國家標(biāo)準(zhǔn)化管理委員會(huì)關(guān)于下達(dá)2020年推薦性國家標(biāo)準(zhǔn)計(jì)劃(修訂)的通知》(國標(biāo)委發(fā)[2020]6號)的要求，樂山市產(chǎn)品質(zhì)量監(jiān)督檢驗(yàn)所修訂了《硅單晶中III、V 族雜質(zhì)含量的測定 低溫傅立葉變換紅外光譜法》。目前，標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿已經(jīng)發(fā)布，正面向社會(huì)征求意見。
 
　　與GB/T24581-2009相比，本次修訂的標(biāo)準(zhǔn)除結(jié)構(gòu)調(diào)整和編輯性改動(dòng)外，主要技術(shù)變化如下：在規(guī)范性引用文件中用國家標(biāo)準(zhǔn)代替國外標(biāo)準(zhǔn)；將3.2條改為“5.2 如果沒有足量連續(xù)的白光，補(bǔ)償?shù)氖┲骱褪苤鲗⒉划a(chǎn)生吸收，故白光強(qiáng)度須足夠強(qiáng)以完全抵消所有施主和受主的補(bǔ)償。使用者通過逐步增加儀器白光光強(qiáng)，來確定III、V族雜質(zhì)吸收峰的面積或高度不再受光強(qiáng)增加影響的白光強(qiáng)度”；增加6.2條“高純氮，體積分?jǐn)?shù)≥99.999%”；增加第6章“試劑和材料”，章條好順延；增加7.5條“千分尺，精度不低于0.01mm”；將第12章與第13章合并，章條號順延等。
 
　　閱讀標(biāo)準(zhǔn)征求意見稿后可知，本標(biāo)準(zhǔn)所使用的低溫傅立葉變換紅外光譜法原理是將硅單晶樣品冷卻至15k以下，此時(shí)自由載流子的影響可忽略不計(jì)，其紅外光譜主要是由雜質(zhì)元素引起的一系列吸收譜帶，用一個(gè)連續(xù)白熾燈光源照射樣品，使其光線能量大于補(bǔ)償雜質(zhì)的能帶，再將紅外光束直接透射樣品，采集透射光譜，該光譜扣除背景光譜后會(huì)轉(zhuǎn)化為吸收光譜。在雜質(zhì)元素特征吸收譜帶上建立基線并計(jì)算其吸收譜帶面積，后根據(jù)比耳定律機(jī)本文件給出的各雜質(zhì)元素的校準(zhǔn)因子計(jì)算出各雜質(zhì)元素的含量即可。
 
　　《硅單晶中III、V 族雜質(zhì)含量的測定 低溫傅立葉變換紅外光譜法》也表明了實(shí)驗(yàn)需要用到低溫恒溫箱、樣品架、傅立葉變換紅外光譜儀、千分尺、白光光源等。
 
　　本標(biāo)準(zhǔn)修訂結(jié)合標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)際使用情況對原標(biāo)準(zhǔn)的技術(shù)內(nèi)容進(jìn)行適當(dāng)修改，同時(shí)增加了多個(gè)實(shí)驗(yàn)室的測量精密度，提高了標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)用性、可操作性及先進(jìn)性，使GB/T24581更為完善，也相信在其正式實(shí)施后能更好地滿足半導(dǎo)體及太陽能光伏產(chǎn)業(yè)發(fā)展的需要。
 
關(guān)鍵詞

相關(guān)閱讀 Related Reading

查看更多+

  • 預(yù)算380萬元 東北大學(xué)采購光譜儀器

    近日，東北大學(xué)采購與招標(biāo)管理中心組織公開招標(biāo)采購圓二色光譜儀（進(jìn)口）、顯微X射線熒光光譜儀（進(jìn)口），預(yù)算380萬元。
    2025-06-24 13:28:20

  • 超3.68億元 清華大學(xué)公布6至7月儀器采購意向

    近期，清華大學(xué)公布6至7月儀器采購意向，計(jì)劃采購紅外光譜儀、激光掃描共聚焦顯微鏡、冷凍超薄切片系統(tǒng)等儀器設(shè)備，預(yù)算超3.68億元。
    2025-06-24 08:54:39

  • 中標(biāo)金額超6800萬！江西省生態(tài)環(huán)境監(jiān)測中心426臺/套儀器花落誰家？

    近日，江西省生態(tài)環(huán)境監(jiān)測中心連續(xù)發(fā)布多項(xiàng)“監(jiān)測能力建設(shè)(二期)項(xiàng)目”中標(biāo)項(xiàng)目，此次中標(biāo)共計(jì)426臺/套儀器設(shè)備，中標(biāo)總金額超680...
    2025-06-23 14:45:24

  • 預(yù)算600萬元 遼寧師范大學(xué)采購考古及文物檢測儀器

    近日，遼寧師范大學(xué)委托通利晟信管理咨詢有限公司組織公開招標(biāo)，為考古科技檢測與文物保護(hù)實(shí)驗(yàn)室建設(shè)采購三維超景深數(shù)字顯微鏡、原子吸收光...
    2025-06-23 09:52:34

  • 預(yù)算147萬 上海海洋大學(xué)采購實(shí)驗(yàn)室設(shè)備

    近日，上海海洋大學(xué)就“上海海洋大學(xué)海洋科學(xué)與技術(shù)實(shí)驗(yàn)教學(xué)中心能力提升建設(shè)”項(xiàng)目發(fā)布公開招標(biāo)公告，預(yù)算金額為147.8萬元。
    2025-06-23 09:35:09

  • 預(yù)算193萬 中國農(nóng)業(yè)大學(xué)采購實(shí)驗(yàn)室儀器設(shè)備

    近日，中國農(nóng)業(yè)大學(xué)就“中國農(nóng)業(yè)大學(xué)曲周實(shí)驗(yàn)站采購儀器設(shè)備項(xiàng)目（第二批）”發(fā)布公開招標(biāo)公告，預(yù)算金額為193.54萬元。
    2025-06-20 09:55:10

版權(quán)與免責(zé)聲明

  • ①凡本網(wǎng)注明“來源：化工儀器網(wǎng)”的所有作品，均為浙江興旺寶明通網(wǎng)絡(luò)有限公司-化工儀器網(wǎng)合法擁有版權(quán)或有權(quán)使用的作品，未經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)不得轉(zhuǎn)載、摘編或利用其他方式使用上述作品。已經(jīng)本網(wǎng)授權(quán)使用作品的，應(yīng)在授權(quán)范圍內(nèi)使用，并注明“來源：化工儀器網(wǎng)”。違反上述聲明者，本網(wǎng)將追究其相關(guān)法律責(zé)任。
  • ②本網(wǎng)轉(zhuǎn)載并注明自其他來源（非化工儀器網(wǎng)）的作品，目的在于傳遞更多信息，并不代表本網(wǎng)贊同其觀點(diǎn)和對其真實(shí)性負(fù)責(zé)，不承擔(dān)此類作品侵權(quán)行為的直接責(zé)任及連帶責(zé)任。其他媒體、網(wǎng)站或個(gè)人從本網(wǎng)轉(zhuǎn)載時(shí)，必須保留本網(wǎng)注明的作品第一來源，并自負(fù)版權(quán)等法律責(zé)任。
  • ③如涉及作品內(nèi)容、版權(quán)等問題，請?jiān)谧髌钒l(fā)表之日起一周內(nèi)與本網(wǎng)聯(lián)系，否則視為放棄相關(guān)權(quán)利。
科研助力 儀器優(yōu)選——化工儀器網(wǎng)夏季儀器采購節(jié)
關(guān)閉