STS 310 PECVD_allwin2 PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 Allwin21 Corp
品牌
型號(hào) STS 310 PECVD_allwin2
產(chǎn)地 USA
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2017/8/25 14:34:38
訪問(wèn)次數(shù) 743

產(chǎn)品標(biāo)簽

PECVD 等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng) STS 310 PECVD_allwin21

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

Allwin21 Corp. 2000年成立于美國(guó)硅谷,主要為半導(dǎo)體工業(yè)，生物醫(yī)療，納米技術(shù)，微機(jī)械工程系統(tǒng)，太陽(yáng)能電池，LED 等行業(yè)專(zhuān)業(yè)供應(yīng)快速退火爐，等離子去膠，等離子刻蝕，濺射等設(shè)備。我們致力于成為產(chǎn)業(yè)的*,為此，在范圍內(nèi)為客戶提供*的、成本合理的技術(shù)解決方案，高品質(zhì)的設(shè)備及備件和業(yè)界*的交貨周期。我們?cè)诓粩喟l(fā)展的高科技生產(chǎn)領(lǐng)域已占有一席之地。很榮幸地與眾多客戶建立了*穩(wěn)定的合作關(guān)系。

提供及時(shí)負(fù)責(zé)的技術(shù)支持和服務(wù)是半導(dǎo)體服務(wù)行業(yè)的生命。Allwin21擁有經(jīng)驗(yàn)豐富的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，為高品質(zhì)技術(shù)服務(wù)奠定了可靠的基礎(chǔ)。我們提供現(xiàn)場(chǎng)安裝、培訓(xùn)、維護(hù)、系統(tǒng)優(yōu)化、改造、定制升級(jí)等服務(wù)。

AllWin21 Corp正在快速成長(zhǎng)，不斷地為客戶提供高性能的設(shè)備。體貼、適應(yīng)、品質(zhì)和創(chuàng)新一直是激勵(lì)我們走向成功的動(dòng)力。

快速退火系列

濺射系列

等離子去膠系列

等離子刻蝕系列

展開(kāi)

快速退火爐AG Heatpulse 610; AG Heatpulse 4100 ;AG Heatpulse 4108; 打膠機(jī) GASONICS AURA 1000 ; GASONICS AE2001; GASONICS AE 2000LLL; 打膠機(jī) MATRIX 105/106/303/403 ; 等離子刻蝕機(jī) TEGAL 901/903; 探針臺(tái) EG2001; EG 2010; EG 1034; 測(cè)試儀 HP4062;HP4145; AW-PCM測(cè)試軟件.〈br〉
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詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng) STS 310 PECVD_allwin21

SYSTEM SPECIFICATION AND TECHNICAL DATA

High Temperature Electrode （allows up to 360 degree C）
Can be configured for 6 x 3",or 4 x 4" wafers

4" pumping port, throttle valve, high vac valve, foreline.

Current Gas configuration.
Gas lines- MFC are Tylan 2900 type
SF6 or CF4 MFC
N2O MFC
NH3 – 50 sccm, MFC
O2 – 3000 sccm, MFC
SiH4 - 3000sccm MFC
O2 is interlocked from NH3, SiH4 lines

RF power supply:187.5 KHz, 500 watts output and 13.56MHz watts output. There is a switch for 187.5KHz RF Power 500W to double the frequency to be 375 KHz.Edwards

E2M40 rotary pump with Edwards 250 blower.

本公司可提供涵蓋快速退火、去膠、刻蝕、測(cè)試等工藝的全新或翻新的半導(dǎo)體設(shè)備及備件。通過(guò)技藝*的設(shè)備翻新和*的軟件升級(jí)及技術(shù)測(cè)試，可以保證我們的設(shè)備具有出色的運(yùn)作表現(xiàn)，能夠滿足客戶的多種需求，降低客戶的生產(chǎn)成本。

本公司有快速退火爐RTP（保護(hù)氣氛熱處理爐）Allwin21 AG610 、EG2001/2010/1034探針臺(tái);HP4062/HP4145測(cè)試儀;AW-PCM測(cè)試軟件；探針臺(tái)Wentworth MP 2020；PECVD等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相淀積系統(tǒng) STS 310 PECVD_allwin21等.

公司在北京、南京、廣東等地設(shè)有辦事機(jī)構(gòu)，致力于為客戶提供完善的服務(wù)與支持。