化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>工業(yè)在線及過程控制儀>其它工業(yè)過程控制及在線分析儀>其它工業(yè)在線分析儀>DIGILEM-CPM-Xe/Halogen 實時膜厚檢測儀
DIGILEM-CPM-Xe/Halogen 實時膜厚檢測儀
具體成交價以合同協(xié)議為準
- 公司名稱 上海首立實業(yè)有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號 DIGILEM-CPM-Xe/Halogen
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時間 2024/3/19 7:07:49
- 訪問次數(shù) 3827
聯(lián)系方式:盛先生18939749676 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
產(chǎn)地類別 | 進口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 建材/家具,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
---|
概要
實時的干涉測量設(shè)備,提供蝕刻/鍍膜制程中高精度的膜厚及蝕刻溝深度檢測。單色光打在樣品表面,由于膜厚和高度變化導致不同的光路長度時,使用干涉測量法。通過循環(huán),系統(tǒng)能在監(jiān)控區(qū)使用實時監(jiān)測的方法計算蝕刻和鍍膜的速度,在規(guī)定的膜厚和槽深來進行終點檢測?;谶@個相對簡單的理論,系統(tǒng)不但非常穩(wěn)定,并且可用于復(fù)雜的多層薄膜。
特征
- 監(jiān)測透明薄膜的厚度和高度,如GaN,ALGaN,SiO2 和SiN。
- 適用于等離子體頻譜分析。
- 生產(chǎn)線使用內(nèi)置軟件。
- 終點檢測法的靈活應(yīng)用。
- *的加工特點。