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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61348-PEGH-0001

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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61348-PEGH-0001

1. 產(chǎn)品基本信息

  • 型號(hào)：61348-PEGH-0001

  • 類型：高真空蝶形控制閥（Pneumatically Actuated）

  • 制造商：VAT Group（瑞士）

  • 系列：61系列（高性能蝶閥，適用于嚴(yán)苛環(huán)境）

2. 關(guān)鍵性能參數(shù)

真空與密封性能

  • 真空范圍：

    • 工作壓力：10?? mbar 至 大氣壓（超高真空兼容）

    • 漏率：<1×10?? mbar·l/s（金屬密封版）

  • 密封選項(xiàng)：

    • 標(biāo)準(zhǔn)：氟橡膠（FKM，耐等離子體腐蝕）

    • 可選：全金屬密封（無(wú)彈性體，適用于高溫/強(qiáng)腐蝕環(huán)境）

機(jī)械與材料特性

  • 閥體材質(zhì)：不銹鋼 316L（表面電解拋光，Ra ≤ 0.8 μm）

  • 法蘭標(biāo)準(zhǔn)：ISO-KF、CF 或定制法蘭（SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容）

  • 驅(qū)動(dòng)方式：氣動(dòng)執(zhí)行（單/雙作用可選）

  • 響應(yīng)時(shí)間：<100 ms（全開(kāi)至全關(guān)）

溫度適應(yīng)性

  • 標(biāo)準(zhǔn)溫度：-20°C 至 +150°C

  • 高溫版本：可選 +250°C（需指定金屬密封）

  • 烘烤兼容性：支持 ≤150°C 持續(xù)烘烤

3. 半導(dǎo)體行業(yè)典型應(yīng)用

  • 刻蝕設(shè)備（Etch）：

    • 用于 Cl?、HBr、SF? 等腐蝕性氣體隔離，耐等離子體侵蝕。

  • 薄膜沉積（CVD/ALD/PVD）：

    • 快速調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體流量，金屬密封版適用于WF?等高活性前驅(qū)體。

  • 離子注入（Implant）：

    • 超高真空隔離，確保束線潔凈度。

  • 晶圓傳輸系統(tǒng)：

    • 負(fù)載鎖（Loadlock）與傳輸腔室之間的快速壓力控制。

4. 型號(hào)對(duì)比與替代參考

特性61348-PEGH-0001VAT 47.1（直通閥）VAT 54.1（角閥）
閥體類型蝶形閥（流量調(diào)節(jié)）直通閥（隔離）角閥（隔離）
速度超快（<100 ms）快（200 ms）中等（500 ms）
密封選項(xiàng)FKM/金屬密封彈性體密封金屬密封
適用場(chǎng)景動(dòng)態(tài)氣體控制真空隔離高真空隔離

5. 安裝與維護(hù)指南

安裝注意事項(xiàng)

  • 法蘭對(duì)齊：需使用無(wú)應(yīng)力安裝工具，避免閥體變形影響密封。

  • 氣源要求：驅(qū)動(dòng)氣壓 4–6 bar（需潔凈干燥空氣或氮?dú)猓?/p>

  • 測(cè)試：空載開(kāi)閉循環(huán) ≥3 次，確認(rèn)無(wú)卡滯。

維護(hù)建議

  • 常規(guī)檢查：

    • 每3個(gè)月檢查密封面潔凈度（可用IPA擦拭）。

    • 每6個(gè)月測(cè)試漏率（氦質(zhì)譜檢漏儀）。

  • 壽命指標(biāo)：

    • 彈性體密封：約50萬(wàn)次循環(huán)。

    • 金屬密封：>100萬(wàn)次循環(huán)（需定期潤(rùn)滑）。

常見(jiàn)故障處理

  • 問(wèn)題：閥門(mén)響應(yīng)慢
    → 檢查氣源壓力或執(zhí)行機(jī)構(gòu)是否泄漏。

  • 問(wèn)題：真空漏率升高
    → 清潔密封面或更換密封圈（避免使用尖銳工具）。

  • 特殊說(shuō)明

  • 定制選項(xiàng)：

    • 可提供帶位置反饋（模擬量/數(shù)字信號(hào)）版本。

    • 支持氟化涂層（如PTFE）以增強(qiáng)耐腐蝕性。

  • 交期：

    • 標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)：8–12周（瑞士生產(chǎn)）；

    • 緊急訂單：可聯(lián)系VAT亞洲倉(cāng)庫(kù)（新加坡/上海）查詢庫(kù)存。

      常供貨型號(hào)：

      商品編號(hào)61340-PACE-0001

    • 商品編號(hào)61348-PACN-0001

    • 商品編號(hào)61338-PEAN-0001

    • 商品編號(hào)61348-PAAF-0001

    • 商品編號(hào)61346-PAGQ-0001

    • 商品編號(hào)61346-PEGQ-0001

    • 商品編號(hào)61348-PEAF-0001

    • 商品編號(hào)61332-KEAF-0001

    • 商品編號(hào)61338-PEAE-0001

    • 商品編號(hào)61348-PECN-0001

    • 商品編號(hào)61340-PECE-0001

    • 商品編號(hào)61344-PAAX-0001

    • 商品編號(hào)61344-PEAX-0001

    • 商品編號(hào)61350-PAAK-0001

    • 商品編號(hào)61338-PAAN-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61348-PEGH-0001



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