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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61348-PEGH-0001

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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61348-PEGH-0001

1. 產(chǎn)品基本信息

  • 型號(hào):61348-PEGH-0001

  • 類型:高真空蝶形控制閥(Pneumatically Actuated)

  • 制造商:VAT Group(瑞士)

  • 系列:61系列(高性能蝶閥,適用于嚴(yán)苛環(huán)境)


2. 關(guān)鍵性能參數(shù)

真空與密封性能

  • 真空范圍

    • 工作壓力:10?? mbar 至 大氣壓(超高真空兼容)

    • 漏率:<1×10?? mbar·l/s(金屬密封版)

  • 密封選項(xiàng)

    • 標(biāo)準(zhǔn):氟橡膠(FKM,耐等離子體腐蝕)

    • 可選:全金屬密封(無(wú)彈性體,適用于高溫/強(qiáng)腐蝕環(huán)境)

機(jī)械與材料特性

  • 閥體材質(zhì):不銹鋼 316L(表面電解拋光,Ra ≤ 0.8 μm)

  • 法蘭標(biāo)準(zhǔn):ISO-KF、CF 或定制法蘭(SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容)

  • 驅(qū)動(dòng)方式:氣動(dòng)執(zhí)行(單/雙作用可選)

  • 響應(yīng)時(shí)間:<100 ms(全開(kāi)至全關(guān))

溫度適應(yīng)性

  • 標(biāo)準(zhǔn)溫度:-20°C 至 +150°C

  • 高溫版本:可選 +250°C(需指定金屬密封)

  • 烘烤兼容性:支持 ≤150°C 持續(xù)烘烤


3. 半導(dǎo)體行業(yè)典型應(yīng)用

  • 刻蝕設(shè)備(Etch)

    • 用于 Cl?、HBr、SF? 等腐蝕性氣體隔離,耐等離子體侵蝕。

  • 薄膜沉積(CVD/ALD/PVD)

    • 快速調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體流量,金屬密封版適用于WF?等高活性前驅(qū)體。

  • 離子注入(Implant)

    • 超高真空隔離,確保束線潔凈度。

  • 晶圓傳輸系統(tǒng)

    • 負(fù)載鎖(Loadlock)與傳輸腔室之間的快速壓力控制。


4. 型號(hào)對(duì)比與替代參考

特性61348-PEGH-0001VAT 47.1(直通閥)VAT 54.1(角閥)
閥體類型蝶形閥(流量調(diào)節(jié))直通閥(隔離)角閥(隔離)
速度超快(<100 ms)快(200 ms)中等(500 ms)
密封選項(xiàng)FKM/金屬密封彈性體密封金屬密封
適用場(chǎng)景動(dòng)態(tài)氣體控制真空隔離高真空隔離

5. 安裝與維護(hù)指南

安裝注意事項(xiàng)

  • 法蘭對(duì)齊:需使用無(wú)應(yīng)力安裝工具,避免閥體變形影響密封。

  • 氣源要求:驅(qū)動(dòng)氣壓 4–6 bar(需潔凈干燥空氣或氮?dú)猓?/p>

  • 測(cè)試:空載開(kāi)閉循環(huán) ≥3 次,確認(rèn)無(wú)卡滯。

維護(hù)建議

  • 常規(guī)檢查

    • 每3個(gè)月檢查密封面潔凈度(可用IPA擦拭)。

    • 每6個(gè)月測(cè)試漏率(氦質(zhì)譜檢漏儀)。

  • 壽命指標(biāo)

    • 彈性體密封:約50萬(wàn)次循環(huán)。

    • 金屬密封:>100萬(wàn)次循環(huán)(需定期潤(rùn)滑)。

常見(jiàn)故障處理

  • 問(wèn)題:閥門(mén)響應(yīng)慢
    → 檢查氣源壓力或執(zhí)行機(jī)構(gòu)是否泄漏。

  • 問(wèn)題:真空漏率升高
    → 清潔密封面或更換密封圈(避免使用尖銳工具)。

  • 特殊說(shuō)明

  • 定制選項(xiàng)

    • 可提供帶位置反饋(模擬量/數(shù)字信號(hào))版本。

    • 支持氟化涂層(如PTFE)以增強(qiáng)耐腐蝕性。

  • 交期

    • 標(biāo)準(zhǔn)型號(hào):8–12周(瑞士生產(chǎn));

    • 緊急訂單:可聯(lián)系VAT亞洲倉(cāng)庫(kù)(新加坡/上海)查詢庫(kù)存。

      常供貨型號(hào):

      商品編號(hào)61340-PACE-0001

    • 商品編號(hào)61348-PACN-0001

    • 商品編號(hào)61338-PEAN-0001

    • 商品編號(hào)61348-PAAF-0001

    • 商品編號(hào)61346-PAGQ-0001

    • 商品編號(hào)61346-PEGQ-0001

    • 商品編號(hào)61348-PEAF-0001

    • 商品編號(hào)61332-KEAF-0001

    • 商品編號(hào)61338-PEAE-0001

    • 商品編號(hào)61348-PECN-0001

    • 商品編號(hào)61340-PECE-0001

    • 商品編號(hào)61344-PAAX-0001

    • 商品編號(hào)61344-PEAX-0001

    • 商品編號(hào)61350-PAAK-0001

    • 商品編號(hào)61338-PAAN-0001

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61348-PEGH-0001



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