瑞士VAT閥67.0 - 對(duì)稱(chēng)控制/真空閥
- 公司名稱(chēng) 上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 德國(guó)
- 廠(chǎng)商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
- 更新時(shí)間 2025/7/17 10:06:55
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瑞士VAT閥67.0 - 對(duì)稱(chēng)控制/真空閥
67.0 系列專(zhuān)為半導(dǎo)體生產(chǎn)中的腐蝕性蝕刻和清潔工藝而設(shè)計(jì),可用作下游控制和隔離閥。
工藝室內(nèi)的氣流特性直接影響工藝速度和質(zhì)量。盡管傳統(tǒng)上,工藝設(shè)計(jì)最注重氣體流入,但下游氣流同樣有助于工藝優(yōu)化。
通常,晶圓周?chē)臍饬髟骄鶆?,晶圓上的氣體反應(yīng)就越平穩(wěn)、越同步。
這不僅適用于氣體引入階段,還適用于氣體從艙室排出階段。出口位置設(shè)計(jì)或閥門(mén)操作期間的流動(dòng)路徑變化可能造成氣體分布不對(duì)稱(chēng),阻礙氣體排出或產(chǎn)生不均勻的流速。兩者都可能以不同的氣體暴露時(shí)間和不平衡對(duì)流的形式對(duì)晶圓造成負(fù)面影響。此外,兩者都可能導(dǎo)致工藝耗氣量增加、流程時(shí)間延長(zhǎng)。
解決方案是對(duì)整個(gè)流程周期的氣流設(shè)計(jì)進(jìn)行優(yōu)化。67.0對(duì)稱(chēng)控制閥為這種方法奠定了新基礎(chǔ)。
采用流量?jī)?yōu)化設(shè)計(jì),還能以全新方式設(shè)計(jì)工藝室。借助其特殊的打開(kāi)和關(guān)閉機(jī)構(gòu),氣流在整個(gè)開(kāi)關(guān)周期中對(duì)稱(chēng)分布,實(shí)現(xiàn)流量和壓力控制。“軟接觸”隔離功能強(qiáng)化了這一點(diǎn)。67.0 對(duì)稱(chēng)控制閥移動(dòng)平緩,可避免任何關(guān)閉沖擊,從而減少粒子生成量。
67.0 對(duì)稱(chēng)控制閥的另一優(yōu)勢(shì)是占用空間小。相較于其他解決方案,所需的安裝空間更少。
67.0 對(duì)稱(chēng)控制閥與氣流優(yōu)化的頂噴和艙室設(shè)計(jì)相結(jié)合,實(shí)現(xiàn)了全新過(guò)程控制水平。這有助于提高產(chǎn)量質(zhì)量和縮短循環(huán)周期,從而提高生產(chǎn)率。
67.0 對(duì)稱(chēng)控制閥可提供 DN 為 250-450 mm (10"–18") 的尺寸。閥體材料為鋁或硬質(zhì)陽(yáng)極氧化鋁。泵側(cè)的標(biāo)準(zhǔn)法蘭為 ISO-F 或 JIS。艙室法蘭采用專(zhuān)有設(shè)計(jì)。法蘭、閥板和驅(qū)動(dòng)器采用彈性體密封。饋通件采用波紋管密封。閥板加熱器為選件。
67.0 對(duì)稱(chēng)控制閥由兩個(gè)帶有閉環(huán)控制步進(jìn)電機(jī)的同步線(xiàn)性驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)?,F(xiàn)代 32 位控制器可借助個(gè)人計(jì)算機(jī)或 PCU 通過(guò)各種標(biāo) 準(zhǔn)端口進(jìn)行連接。專(zhuān)用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件能夠詳細(xì)監(jiān)測(cè) 67.0 對(duì)稱(chēng)控制閥并調(diào)整周期性運(yùn)動(dòng)。
67.0 對(duì)稱(chēng)控制閥計(jì)劃在維護(hù)前,進(jìn)行200 萬(wàn)次控制周期和 20 萬(wàn)次隔離周期??煽焖佥p松地完成更換密封件等維護(hù)要求。
瑞士VAT閥67.0 - 對(duì)稱(chēng)控制/真空閥