F3-sX Filmetircs 光學(xué)膜厚測(cè)量?jī)x
- 公司名稱 優(yōu)尼康科技有限公司
- 品牌 其他品牌
- 型號(hào) F3-sX
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2023/8/25 14:47:37
- 訪問(wèn)次數(shù) 2400
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主動(dòng)式減震臺(tái),Profilm3D光學(xué)輪廓儀,Filmetrics膜厚測(cè)量?jī)x,薄膜厚度測(cè)量?jī)x,粗糙度測(cè)量,輪廓測(cè)量,橢偏儀
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,汽車及零部件,電氣 |
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F3-sX 系列薄膜厚度測(cè)量?jī)x
滿足薄膜厚度范圍從15nm到3mm的厚度測(cè)試系統(tǒng)
F3-sX家族利用光譜反射原理,可以測(cè)試眾多半導(dǎo)體及電解層的厚度,可測(cè)厚度達(dá)3毫米。此類厚膜,相較于較薄膜層表面較粗糙且不均勻,F(xiàn)3-sX系列配置10微米的測(cè)試光斑直徑因而可以快速容易的測(cè)量其他膜厚測(cè)試儀器不能測(cè)量的材料膜層。而且僅在幾分之一秒內(nèi)完成。
波長(zhǎng)選配
F3-sX采用的是近紅外光(NIR)來(lái)測(cè)量膜層厚度,因此可以測(cè)試一些肉眼看是不透明的膜層( 比如半導(dǎo)體膜層) 。980nm波長(zhǎng)型號(hào),F(xiàn)3-s980,專門針對(duì)低成本預(yù)算應(yīng)用。F3-s1310針對(duì)于高參雜硅應(yīng)用。F3-s1550則針對(duì)較厚膜層設(shè)計(jì)。
配件
配件包括自動(dòng)繪圖平臺(tái)、測(cè)量點(diǎn)可視化的攝像機(jī), 和可見光波段選項(xiàng),使測(cè)量厚度能力小達(dá)到15納米。此外數(shù)據(jù)采集速率達(dá)到1kHz,讓F3-sX系列成為許多在線應(yīng)用的選擇(比如“roll-to-roll”工藝)。
測(cè)量原理為何?
FILMeasure分析-薄膜分析的標(biāo)準(zhǔn)部件
可選配件
應(yīng)用
• Si晶圓厚度測(cè)試
• 保形涂層
• IC 芯片失效分析
• 厚光刻膠(比如SU-8光刻膠)
選擇Filmetrics的優(yōu)勢(shì)
• 桌面式薄膜厚度測(cè)量
• 24小時(shí)電話,郵件和在線支持
• 所有系統(tǒng)皆使用直觀的標(biāo)準(zhǔn)分析軟件
附 加 特 性
• 嵌入式在線診斷方式
• 免費(fèi)離線分析軟件
• 精細(xì)的歷史數(shù)據(jù)功能,幫助用戶有效地
• 存儲(chǔ),重現(xiàn)與繪制測(cè)試結(jié)果
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