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LCS系列 全自動硅片甩干機廠家

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    本公司座落在孔孟之鄉(xiāng)的歷史名城--濟寧,是研制和生產功率超聲清洗設備和無損檢測儀器的技術企業(yè)。擁有十幾年生產超聲波清洗設備的先進經驗,高素質的公司員工,先進的管理理念,技術力量雄厚,加工檢測設備精良,生產功率超聲清洗設備和無損檢測儀器兩大門類五十多個品種的超聲儀器。近年來與清華大學、山東大學等高校建立了合作關系,使公司產品在同行業(yè)中保持技術超先水平?! ?/span>

     半導體設備有:晶片全自動超聲波清洗機、硅片擴散清洗機、晶片(硅片)腐蝕機、全自動甩干機、藍寶石片全自動超聲波清洗機、多槽式半自動超聲波清洗機等。

 制藥行業(yè)設備有:超聲波濾芯清洗機、超聲波洗瓶機、軋蓋機、灌裝機、超聲波中藥處理機、超聲波膠塞清洗機、超聲波乳化器、移動高壓清洗機、鋁桶清洗機等。

 功率超聲設備有:超聲波清洗機、零配件超聲波清洗機、汽車缸體(發(fā)動機清洗機、機械零部件全自動清洗機、超聲波鋼筘清洗機、超聲波清洗流水線。

 無損檢測儀器有:電火花檢測儀、涂層測厚儀、超聲波測厚儀、濕海綿針孔檢測儀、超聲波探傷儀、磁粉探傷儀、硬度計、粗糙度等。  

    本公司堅持“以質量求生存、以科技求發(fā)展、以服務贏客戶”為宗旨,嚴格按照ISO9001質量體系的要求組織產品的生產和銷售。以全新的經營理念、充満活力的高素質的員工,竭誠為各方賓朋服務。本公司承諾無論各種品牌的超聲儀器,我公司都提供免費的維修服務?! ?/span>

    歡迎各界朋友來我公司考察、洽談業(yè)務!




無損檢測儀器有:涂層測厚儀、電火花檢測儀、超聲波測厚儀、超聲波探傷儀等?! 」β食曉O備有:超聲波清洗機、超聲波清洗流水線、甩干機、超聲波洗瓶機、超聲波中藥處理機、超聲波膠塞清洗機、超聲波濾芯清洗機、超聲波乳化器等。

全自動硅片甩干機是一種專門用于半導體制造過程中的高精密設備,主要用于清洗和干燥硅片。這種設備通過自動化的流程,能夠高效地去除硅片表面的水分和其他殘留物,確保硅片的清潔度和干燥度,從而滿足后續(xù)工藝的要求。

全自動硅片甩干機

 

主要特點:

1.彩色液晶觸摸屏實時監(jiān)控,可存儲多種工藝菜單

2.腔體和轉架采用316不銹鋼,電化學拋光處理

3.去離子水電阻率監(jiān)控功能

4.無刷電機驅動

5.氮氣溫度控制

6.轉軸氮氣密封

7.具有鎖蓋防護功能

8.故障診斷、顯示、報警功能

9.可提用戶特殊要求配置

全自動硅片甩干機采用高潔凈度的旋轉沖洗甩干功能,能夠適應不同直徑和形狀的片式材料的清洗需求。設備設計可以適應不同直徑的硅片,包括方形和其他特殊形狀的材料。

設備采用全自動控制,包括去離子水沖洗和加熱的氮氣干燥,實現晶片襯底后的濕化學方法的自動化處理。具備多項技術性能指標,如電源電壓、頻率、功率、絕緣電阻等,確保操作的安全性和穩(wěn)定性

包括使用氮氣和去離子水的相關安全性技術要求,如壓力、耗量、接口管徑和過濾精度等部分設備采用PLC和觸摸屏控制,實現整個過程的智能化,具有故障實時顯示和報警功能。設備設計考慮了節(jié)能和效率,如整個甩干過程一般只需5-6分鐘。主要部件采用耐腐蝕不銹鋼,并進行電化學拋光處理,以提高設備的耐用性和清潔度。旋轉機構經過精密動平衡處理,保證工作時的平衡性,并采用特種減振器以實現精密減振和阻尼。
設備支持多種硅片規(guī)格、不同尺寸的掩模,滿足不同應用需求。



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