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ME1 等離子體去膠機(jī)

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   北京同德創(chuàng)業(yè)科技有限公司作為國內(nèi)的儀器儀表銷售平臺。其發(fā)展業(yè)務(wù)主要涉及:實驗室檢測、水質(zhì)檢測、環(huán)保檢測、醫(yī)療檢測、工業(yè)檢測、電力通訊檢測、無損檢測、氣體檢測等。公司始終堅持發(fā)揚"誠信、創(chuàng)新、溝通"為企業(yè)宗旨,以"技術(shù)、"為立業(yè)之本的團(tuán)體精神,并形成一套完整的設(shè)計、安裝、調(diào)試、培訓(xùn)、維護(hù)一站式體系。

   公司憑借優(yōu)勢的網(wǎng)絡(luò)化的采購平臺,打造高品質(zhì)供應(yīng)鏈體系,完善的技術(shù)支持,為客戶提供強(qiáng)有力的供貨保障。








械設(shè)備加工,銷售;儀器儀表,金屬材料,醫(yī)療器械,建筑材料,化工產(chǎn)品

等離子體去膠機(jī)型號:ME1

等離子體去膠機(jī)

是在(RIE)反應(yīng)離子刻蝕機(jī)的基礎(chǔ)上簡化改進(jìn)而來,為小型等離子去膠機(jī),具有體積小,性能優(yōu)良、用途多、工藝速率高、均勻性及重復(fù)性好、價格低、使用方便等特點。是各電子器件企業(yè)及科研單位、大**院校的機(jī)型。適合于微電子制作工藝中光刻膠的去膠工藝,同時有RIE刻蝕功能,可以刻蝕Si、SiO2、SiN。已出口國外。
  整機(jī)基本配置和性能:
    1.激勵電源:13.56MHz 500W;帶匹配器和功率計各1臺(動匹配可選),帶定時器1臺。 
    2.真空系統(tǒng):8升/秒機(jī)械泵1臺。帶真空計。 
    3.載片臺尺寸:Ф220mm ,一次可放3片4英寸片或者4片3英寸片。
    4.氣路系統(tǒng):2路進(jìn)氣;2個質(zhì)量流量計,2路顯示。 
    5.手動控制(可以選擇配置工藝過程動控制)。

    6.均勻性:±5% (4英寸內(nèi))

 是在(RIE)反應(yīng)離子刻蝕機(jī)的基礎(chǔ)上簡化改進(jìn)而來,為小型等離子去膠機(jī),具有體積小,性能優(yōu)良、用途多、工藝速率高、均勻性及重復(fù)性好、價格低、使用方便等特點。是各電子器件企業(yè)及科研單位、大**院校的機(jī)型。適合于微電子制作工藝中光刻膠的去膠工藝,同時有RIE刻蝕功能,可以刻蝕Si、SiO2、SiN。已出口國外。
  整機(jī)基本配置和性能:
    1.激勵電源:13.56MHz 500W;帶匹配器和功率計各1臺(動匹配可選),帶定時器1臺。 
    2.真空系統(tǒng):8升/秒機(jī)械泵1臺。帶真空計。 
    3.載片臺尺寸:Ф220mm ,一次可放3片4英寸片或者4片3英寸片。
    4.氣路系統(tǒng):2路進(jìn)氣;2個質(zhì)量流量計,2路顯示。 
    5.手動控制(可以選擇配置工藝過程動控制)。
    6.均勻性:±5% (4英寸內(nèi))





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