集成電路車間除濕機(jī)
參考價(jià) | ¥ 8900 |
訂貨量 | ≥1 |
- 公司名稱 杭州上島電器有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 杭州余杭經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2018/8/13 16:04:26
- 訪問次數(shù) 344
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集成電路車間除濕機(jī),在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100 um的硅片,溫度上升1度,就引起了0.24um線性膨脹,所以必須有±0.1度的恒溫溫差,同時(shí)要求濕度值一般較低,因?yàn)槿顺龊挂院?,?duì)產(chǎn)品將有污染,特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間,這種車間不宜超過25度,濕度過高產(chǎn)生的問題更多。相對(duì)濕度超過55%時(shí),冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露,如果發(fā)生在精密裝置或電路中,就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。
所以集成電路車間除濕機(jī)需要將集成電路車間內(nèi)的溫濕度進(jìn)行嚴(yán)格控制的。
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集成電路車間除濕機(jī)車廠家-杭州上島電器有限公司專業(yè)生產(chǎn)研發(fā)各類除濕機(jī),如新風(fēng)除濕機(jī)、轉(zhuǎn)輪除濕機(jī)、管道除濕機(jī)、高溫除濕機(jī)、泳池除濕機(jī)、家用除濕機(jī)、民用除濕機(jī)、恒溫恒濕機(jī)、調(diào)溫除濕機(jī)等一系列產(chǎn)品。
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