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ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 北京鐳測(cè)科技有限公司-J-儀蘭
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2019/4/11 23:46:39
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 555
產(chǎn)品標(biāo)簽

激光干涉儀

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雙頻激光干涉儀、激光回饋干涉儀、相位延遲測(cè)量?jī)x、激光教學(xué)儀及激光納米測(cè)尺

產(chǎn)地類(lèi)別 國(guó)產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議

產(chǎn)品功能
     ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀主要用于微位移部件的測(cè)量、角度變化量的監(jiān)測(cè)、移動(dòng)平臺(tái)運(yùn)動(dòng)情況的檢測(cè)、光刻機(jī)幾何量的測(cè)量、數(shù)控機(jī)床幾何量的測(cè)量等,多可實(shí)現(xiàn)六軸聯(lián)動(dòng)。也可通過(guò)位移+偏擺+俯仰的三角關(guān)系測(cè)量檢測(cè)物體的振動(dòng)變化。

性能優(yōu)勢(shì)
l  ZLM800微位移測(cè)量激光干涉儀頻差為640MHz。請(qǐng)用戶(hù)注意“激光干涉儀”和“雙頻激光干涉儀”概念的區(qū)別,*雙頻激光干涉儀精度更好、性能更穩(wěn)定。世界范圍內(nèi)只有兩家雙頻激光干涉儀的生產(chǎn)商,德國(guó)耶拿爾公司是其中的一家。
l          全部部件皆在德國(guó)生產(chǎn)制造,絕非為了降低成本而在第三方國(guó)家進(jìn)行部件加工。光學(xué)組件全部采用蔡司光學(xué)鏡,是世界上一家將的蔡光學(xué)鏡用于激光干涉儀領(lǐng)域的產(chǎn)品制造商。
l           激光器壽命更長(zhǎng),可達(dá)20000小時(shí),激光穩(wěn)頻精度高,一小時(shí)內(nèi)為±0.002ppm,在產(chǎn)品壽命內(nèi)可達(dá)±0.02ppm。
l          干涉鏡采用差分干涉原理,系統(tǒng)精度更高,可達(dá)±0.4ppm。
l          計(jì)算機(jī)輔助光路調(diào)整,調(diào)整結(jié)果更準(zhǔn)確。
l          采樣頻率更快,高達(dá)1MHz,可在0.001Hz-1Ml        
l          信號(hào)延時(shí)<200ns;對(duì)電磁干擾不敏感。
l          對(duì)于多軸聯(lián)動(dòng)的復(fù)雜光路測(cè)量和微位移測(cè)量,ZLM800型是理想的選擇。

 

 



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