BTL6-A110-M1800-A1-S115 巴魯夫成型外殼內的磁致伸縮位移傳感器

巴魯夫成型外殼內的磁致伸縮位移傳感器

（1）*將直線電機加氣浮導軌的驅動方式應用于位移傳感器自動化校準。相對于傳統(tǒng)的機械驅動方式，直線電機不僅能夠直接讓運動部件作直線運動，簡化了設備結構，不需要中間轉換過程，其動態(tài)響應性能和重復定位精度都大大提高，通過和氣浮導軌配合可使得校準過程穩(wěn)定性好。

（2）將標準與被校傳感器置于氣浮導軌兩端，傳感器牽引端與氣吸附滑塊上的運動端通過轉接裝置相連，激光干涉儀的反射鏡同樣置于滑塊上，校準時通過夾具調節(jié)使位移傳感器運動方向與激光干涉儀測量方向在同一條直線上，實現阿貝誤差的消除。

（3）基于磁致伸縮測桿式傳感器校準設計夾具，配合支撐點消除變形的校準方式，解決了該類傳感器校準過程中存在的撓度問題。后，通過對位移傳感器校準裝置不確定度的評定和驗證，表明該校準方法準確、有效、可行。

巴魯夫成型外殼內的磁致伸縮位移傳感器

主營德國進口備件:巴魯夫BALLUFF

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