產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) | 加熱方式 | 電加熱 |
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價(jià)格區(qū)間 | 5萬-10萬 | 控溫精度 | ±1℃ |
內(nèi)部尺寸 | 訂制mm | 升溫速度(達(dá)到最高溫) | 5/min |
儀器種類 | 管式爐 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 醫(yī)療衛(wèi)生,化工,石油,能源,電子/電池 |
最大功率 | 訂制kW | 最高溫度 | 1650℃ |
真空氣氛管式爐專門設(shè)計(jì)用于半導(dǎo)體材料擴(kuò)散、氧化工藝,盡可能滿足其重點(diǎn)特殊要求;同時(shí)也用于太陽能電池行業(yè)的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多種渡膜(LPCVD)工藝。該爐采用FEC陶瓷纖維管保溫,KTL電阻絲加熱,優(yōu)質(zhì)氣煉石英管作為爐膛,可預(yù)抽真空并通入保護(hù)/反應(yīng)氣體;日本*單回路溫度控制儀控制,溫區(qū)設(shè)計(jì)隔板結(jié)構(gòu),溫度均勻。進(jìn)口氣氛控制系統(tǒng),浮子流量計(jì)控制。具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、具有溫度擾動(dòng)小、升溫速度快、使用溫度高、保溫效果好、壽命長、節(jié)能等特點(diǎn),是企業(yè)規(guī)模生產(chǎn)的理想設(shè)備。
設(shè)備型號(hào) | RGL(D)-07/75/3 | RGL(S)-09/60/6 | RGL(D)-18/110/3 | RGL(D)-25/100/6 |
高溫度 | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ | 1050℃ |
使用溫度 | RT-1000℃ | RT-1000℃ | RT-1000℃ | RT-1000℃ |
控制精度 | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ | ±1℃ |
溫區(qū)個(gè)數(shù) | 3 | 6 | 3 | 6 |
爐管尺寸 | φ70x2200mm | φ90x1800mm | φ180x2100mm | φ250x2100mm |
發(fā)熱元件 | 電阻絲 | 電阻絲 | 電阻絲 | 電阻絲 |
特點(diǎn):
真空氣氛管式爐采用高純氣煉石英管作為內(nèi)爐膛,具有良好的潔凈度,耐火保溫材料全部采用*的輕質(zhì)纖維制品,整機(jī)能耗低,升溫快。加熱元件采用真空成型FEC陶瓷纖維加熱器,溫控系統(tǒng)采用進(jìn)口多段智能程序溫控儀控制,溫度控制具有良好的穩(wěn)定性,重復(fù)性。