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AS-Micro 真空快速退火爐

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 邁可諾技術(shù)有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號 AS-Micro
  • 產(chǎn)地 法國
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時間 2025/7/1 21:13:02
  • 訪問次數(shù) 2190

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半導(dǎo)體化工領(lǐng)域?qū)I(yè)實(shí)驗(yàn)設(shè)備供應(yīng)商:邁可諾是一家富有創(chuàng)新精神的高科技公司,專業(yè)提供光電半導(dǎo)體化工實(shí)驗(yàn)室所需設(shè)備耗材的全套解決方案提供商,邁可諾從事開發(fā)、設(shè)計(jì)、生產(chǎn)并營銷質(zhì)量可靠的、安全易用的技術(shù)產(chǎn)品及優(yōu)質(zhì)專業(yè)的服務(wù),幫助我們的客戶和合作伙伴取得成功。我們成功的基礎(chǔ)是幫助客戶做出更好的選擇和決定,尊重他們的決定,并協(xié)助他們實(shí)現(xiàn)高效率的科研成果,追求豐富有意義的生活。




勻膠機(jī),光刻機(jī),顯影機(jī),等離子清洗機(jī),紫外臭氧清洗機(jī),紫外固化箱,壓片機(jī),等離子去膠機(jī),刻蝕機(jī),加熱板

產(chǎn)地類別 進(jìn)口 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池

AS-Micro真空快速退火爐,性能,可搭配分子泵實(shí)現(xiàn)高真空下熱處理工藝。zui高溫度1250 ℃,zui快升溫速率250/Second。全程PC軟件控制升溫程序,保證溫度不過沖,控溫精度準(zhǔn)確。

 

產(chǎn)品特點(diǎn):

1、 紅外鹵素?zé)艄芗訜?,冷卻采用風(fēng)冷(低噪音水平,無需壓縮空氣);

2、加熱由功率控制而非電壓控制,避免了由于燈絲老化電阻改變導(dǎo)致的后續(xù)使用中加熱不均的問題,保證了良好的重現(xiàn)性及均溫性,即使在后續(xù)使用過程中更換了部分新的燈管也可以達(dá)到初的熱處理效果;

3、石英腔體,腔體冷卻采用水冷,冷壁設(shè)計(jì),雙層不銹鋼;

冷壁水冷技術(shù)優(yōu)點(diǎn)在于:1、無記憶,2、工藝重復(fù)性高,3、冷卻速度快;

4、反應(yīng)腔室的設(shè)計(jì),氣體的進(jìn)入口設(shè)計(jì)在wafer的表面,避免在退火過程中冷點(diǎn)的產(chǎn)生。很好的保證了樣品在加熱過程中的均溫性;

5、快速數(shù)字PID控溫;

6、熱電偶設(shè)計(jì)上采用中間和邊緣安裝模式,測試的樣品的溫度,控溫精準(zhǔn);

7、大氣和真空工藝均適合,凈化氣體配針閥;

8、zui多3工藝氣體,配數(shù)字質(zhì)量流量控制器;

9、電腦通過以太網(wǎng)連接更快的數(shù)據(jù)傳輸速度;

10、可選配石墨托盤表面涂SiC薄膜設(shè)計(jì),用于小樣品測試;

11、可選配分子泵,用于高真空測試;

12、可選配雙腔體設(shè)計(jì), 達(dá)到高潔凈工藝,避免交叉污染。

 

產(chǎn)品標(biāo)準(zhǔn)配置及規(guī)格參數(shù):

1、樣品大尺寸:3-inch;

2、紅外鹵素?zé)簦?/span>6支; 大功率:15KW;

3、紅外鹵素?zé)衾鋮s方式:風(fēng)冷;

4、溫度范圍:室溫~1250 ℃;

5、升溫速率:0.1 ~250 /s

6、溫度控制:快速數(shù)字PID控制;

7、熱電偶:2N型熱電偶;

8、工藝氣體氣路配質(zhì)量流量計(jì):壓力:2bars,zui多可配置3路; 

9、配置真空泵及真空規(guī):真空度:10e-3 Torr;(分子泵選配10e-6 Torr

10、尺寸:700*700*750mm (W*D*H); 重量:凈重82Kg;

 

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