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槽式濕法清洗設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 無錫亞電智能裝備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號
  • 產(chǎn)地 江蘇無錫
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2020/3/9 9:28:16
  • 訪問次數(shù) 3528
產(chǎn)品標(biāo)簽

半導(dǎo)體濕法清洗晶圓清洗

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大家好!無錫亞電智能裝備有限公司是半導(dǎo)體晶圓行業(yè)濕法制程服務(wù)商,專注于晶圓前道濕法刻蝕清洗技術(shù),是*批推進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的企業(yè)之一。公司核心產(chǎn)品為6吋、8吋、12吋濕法刻蝕清洗設(shè)備,包括槽式設(shè)備和單片設(shè)備,涵蓋多種前道濕法工藝,如:B Clean,Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,Metal Etch等。此外,為應(yīng)對個性化的清洗需求,公司還研發(fā)了多種輔助清洗機(jī)臺,如:爐管清洗機(jī),片盒清洗機(jī),部件清洗機(jī),本地化學(xué)品供液設(shè)備,濕法工作臺,烘箱等。目前已與無錫上華、寧波中芯、廣州粵芯、無錫華虹、重慶華潤微電子等客戶達(dá)成友好合作。

半導(dǎo)體產(chǎn)品、液晶、太陽能光伏、環(huán)保設(shè)備的研發(fā)、制造、維修

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 價(jià)格區(qū)間 面議
儀器種類 專用型 應(yīng)用領(lǐng)域 電子/電池

一、 槽式濕法設(shè)備:

型號DF-1500B、DF-2000BDF-3000B三大系列 ,Cassetteless type和Cassette type,適用于6吋,8吋,12吋晶圓清洗,主要工藝包括B Clean,Oxide Remove, Nitride Remove, PR Strip, Particle Remove, Solvent Clean, Wafer Reclaim, Metal Etch等可應(yīng)用于半導(dǎo)體、LED和太陽能電池等領(lǐng)域。

 

產(chǎn)品詳情:

1、槽式濕法設(shè)備Cassetteless-type:適用于90~130nm工藝制程,均勻性高,顆粒度低和顆粒等級優(yōu)勢大,適用DMOS、50LOGIC、35MIX等產(chǎn)品。

- 滿足SEMI S2、SEMI S8和CE標(biāo)準(zhǔn);

- 全自動倒片,兼容SMIF和FOUP;

- 支持EAP、FDC等功能;

- 多級Wafer保護(hù)措施;

- 支持Marangoni干燥;

- 支持多任務(wù)并行處理;

- 自動補(bǔ)、配液,可兼容多種濃度配比;

- 支持自動補(bǔ)液及配液;

- 配置煙感,溫感,光感及CO2 滅火裝置;

- BATH過溫保護(hù),各MODULE 配置LEAK SENSOR;

- INTERLOCK全面豐富。

 

2、槽式濕法設(shè)備Cassette-type:適用于130nm及以上制程,適用產(chǎn)品如:IGBT、MEMS等,自動化程度高,價(jià)比高,穩(wěn)定性強(qiáng)。

- 搭載*超聲波、兆生波清洗模塊,優(yōu)化清洗工藝效果

- 支持EAP、FDC等功能

- 多級wafer保護(hù)措施;

- 集成多種干燥技術(shù),如:馬蘭格尼干燥、IPA 干燥

- 多尺寸襯底兼容清洗;

- 支持多任務(wù)并行處理;

- 全自動滅火系統(tǒng),排風(fēng)系統(tǒng)防爆處理,提高設(shè)備安全性

- 自動補(bǔ)、配液,可兼容多種濃度配比。

大家好!無錫亞電智能裝備有限公司是半導(dǎo)體晶圓行業(yè)濕法制程服務(wù)商,專注于晶圓前道濕法刻蝕清洗技術(shù),是*批推進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化的企業(yè)之一。公司核心產(chǎn)品為6吋、8吋、12吋濕法刻蝕清洗設(shè)備,包括槽式設(shè)備和單片設(shè)備,涵蓋多種前道濕法工藝,如B Clean,Oxide Remove,Nitride Remove,PRStrip,Particle Remove,Solvent Clean,Wafer Reclaim,Metal Etch等。此外,為應(yīng)對個性化的清洗需求,公司還研發(fā)了多種輔助清洗機(jī)臺,如:爐管清洗機(jī),片盒清洗機(jī),部件清洗機(jī),本地化學(xué)品供液設(shè)備,濕法工作臺,烘箱等目前已與無錫上華、寧波中芯、廣州粵芯、無錫華虹、重慶華潤微電子等客戶達(dá)成友好合作。



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