QX-20W 光刻機冷卻裝置水冷式冷水機

光刻機冷卻裝置水冷式冷水機

冷水機組采用*的微電腦智能化控制系統(tǒng)，精確控制工業(yè)生產(chǎn)過程所需的各種溫度（5℃～35℃）。不僅調(diào)控溫度全面實現(xiàn)人機界面功能且保證機組控溫精度高達±1℃。對于其他溫度范圍可按要求定制。

1、制冷壓縮機及其它制冷配件和控制元器件均采用國內(nèi),不僅保證機組性能的充分發(fā)揮，同時確保機組具有較長的使用壽命。

2、冷水機組具備完善的保護裝置（高壓、低壓、過壓、欠壓、過載、缺相、時間延時、缺水保護等）及聯(lián)鎖控制線路,且主要故障均在面板上顯示,檢修簡易。

3、節(jié)流方式均采用外平衡熱力膨脹閥控制，溫度調(diào)節(jié)范圍廣，制冷劑流量自動控制，機組運行穩(wěn)定，能效比高，與目前市場上普遍采用的毛細管節(jié)流相比，具有*的*性。當工況如環(huán)境溫度、要求的水溫、熱負荷等變化時，毛細管無法自我調(diào)節(jié)，此時制冷量下降，同時可能會造成壓縮機排氣溫度過高、潤滑性下降或液擊，直接影響機組的使用壽命，嚴重時制冷系統(tǒng)無法正常工作。

4、水冷式冷凝器采用無縫齒狀外螺紋銅管殼管式，數(shù)控車床精細加工，具有特強換熱效率，壽命長，可拆洗等優(yōu)點；風冷式冷凝器采用蜂窩鋁翅片串高效內(nèi)螺紋紫銅管配合高效軸流風機，換熱效果非常好。

5、蒸發(fā)器可根據(jù)不同用途選擇如（不銹鋼水箱盤管式、不銹鋼板式、干式殼管式、電鍍耐酸蒸發(fā)器）。

6、選不銹鋼優(yōu)質(zhì)水泵，干燥過濾器等部件勻采用美國艾默森品牌，可靠耐用。

7、按需內(nèi)置或外置補給貯水箱，避免啟停頻繁，自動或手動補充水。

有適合各種機械設備配套之機型，可按客戶要求特別制造。

特殊配電要求可定制。

冷凍水的壓力和溫度——講解

　　空調(diào)用冷水機組一般是在標準工況所規(guī)定的冷水回水溫度12℃，供水溫度7℃，溫差5℃的條件下運行的。對于同一臺冷水機組來說，其運行條件不變，外界負荷一定的情況下，冷水機組的制冷量是一定的。此時，通過蒸發(fā)器的冷水流量與供、回水溫差成反比，即冷水流量越大，溫差越??；反之，流量越小，溫差越大。所以，冷水機組工況規(guī)定冷水供回水溫差為5℃，這實際上是規(guī)定了機組的冷水流量。這種冷水流量的控制就表現(xiàn)為控制冷水通過蒸發(fā)器的太力降。

　　在標準工況下，蒸發(fā)器上冷水供回水壓降調(diào)定為0.5kgf/cm2。其壓降調(diào)定方法是調(diào)節(jié)冷泵出口閥門開度，和蒸發(fā)器供、回水閥門開度。閥門開度調(diào)節(jié)的原則是：蒸發(fā)器出水有足夠的壓力來克服冷水閉式循環(huán)系統(tǒng)中阻力；機組在負擔設計負荷的情況下運行，蒸發(fā)器進、出水溫差為5℃。此時進、出蒸發(fā)器的冷水壓降為0.5kg/cm2左右。

　　按照上述要求，閥門一經(jīng)確定，冷水系統(tǒng)各閥門開度大小就應相對穩(wěn)定不變。即使在非調(diào)定工況下運行（如卸載運行）旱，各閥門也應相對穩(wěn)定不變。應當注意，全開閥門加大冷水流量，減少進、出水溫差的做法是不可取的。這樣做雖然會使蒸發(fā)器的蒸發(fā)溫度提高，機組的冷量有所增加，但水泵功率也因此而提高，兩相比較得不償失。所以，蒸發(fā)器冷水側(cè)進、出水壓降控制在49.05kPa(0.5kgf/m2)為宜。

　　一般來說，冷水供水管上的壓力，只要能夠滿足克服冷水管系統(tǒng)中管道上的陰力損失就可以了，這可以從安裝在冷水泵上的吸入壓力表讀數(shù)來判別。然后通過控制冷水泵出水閥的開度，可以調(diào)節(jié)冷水供水壓力。將出水閥開度關小，則冷水泵背壓提高，通過水泵的流量減少，水泵功率消耗下降，這時蒸發(fā)器的供水壓力下降，但該壓力無論如何也不應低于滿足蒸發(fā)器供、回水壓降為49.05kPa(0.5kgf/m2)的要求。

　　為了冷水機組的運行安全，蒸發(fā)器出水溫度一般不低于3℃。此外，冷水系統(tǒng)雖然是封閉的，在蒸發(fā)器中水側(cè)結(jié)垢和腐蝕不會像冷凝器那樣嚴重，但從設備檢查維修要求出發(fā)，應每年對蒸發(fā)器管道的水側(cè)和冷水系統(tǒng)的其他管道清洗一次。

【光刻機冷卻裝置水冷式冷水機】