平面光學(xué)激光干涉儀

中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀產(chǎn)品在測(cè)量精度、測(cè)量速度、測(cè)量類型等方面選擇上，給用戶提供了更多選擇。

產(chǎn)品型號(hào)：SJ6000

穩(wěn)頻方式：激光熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度：0.05ppm

線性測(cè)量精度：0.5ppm（0-40）℃

線性測(cè)量距離：（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）

角度測(cè)量精度：±不低于±0.04% ±0.5 ±0.1M µm/m

測(cè)量分辨力：1nm

動(dòng)態(tài)采集頻率：50KHz

預(yù)熱時(shí)間：≤6分鐘

工作溫度范圍：（0-40）℃

環(huán)境溫度范圍：（0-40）℃，環(huán)境濕度：0-95%

主要特點(diǎn)：應(yīng)用范圍廣、測(cè)量精度高、操作方便

產(chǎn)品型號(hào)： SJ6800

穩(wěn)頻方式： 激光雙縱模熱穩(wěn)頻

穩(wěn)頻精度： 0.04ppm

測(cè)量距離：≤（0-80）m（無需遠(yuǎn)距離線性附件）

測(cè)量分辨力：1nm

測(cè)量最大速度：4m/s

線性測(cè)量精度：±(0.2μm+0.3μm/m) (0～40)℃

角度測(cè)量精度：±(0.02%R+0.1+0.024M)″ (R為顯示值，單位：″；M為測(cè)量距離，單位：m)

主要特點(diǎn)：絕對(duì)測(cè)量、恒測(cè)力、無阿貝誤差

中圖儀器的平面光學(xué)激光干涉儀測(cè)量分辨率可達(dá)0.01″，系統(tǒng)測(cè)量精度為±1″，基準(zhǔn)WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)重復(fù)精度為0.2″。主要由SJ6000激光干涉儀主機(jī)、角度鏡組、WR50自動(dòng)精密轉(zhuǎn)臺(tái)、SJ6000回轉(zhuǎn)軸測(cè)量軟件構(gòu)成。

中圖激光干涉儀具有測(cè)量精度高、測(cè)量范圍大、測(cè)量速度快、高測(cè)速下分辨率高等優(yōu)點(diǎn)，結(jié)合不同的光學(xué)鏡組，可實(shí)現(xiàn)線性測(cè)長(zhǎng)、垂直度、角度、直線度、平行度、平面度等幾何參量的高精度測(cè)量。在動(dòng)態(tài)測(cè)量軟件配合下，可實(shí)現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動(dòng)態(tài)測(cè)量與性能檢測(cè)，以及進(jìn)行加速度、位移、速度、振幅與頻率的動(dòng)態(tài)分析，如振動(dòng)分析、絲桿導(dǎo)軌的動(dòng)態(tài)特性分析、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)的響應(yīng)特性分析等。

如數(shù)控機(jī)床的傳動(dòng)機(jī)構(gòu)一般是滾珠絲桿副，滾珠絲桿副在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在一定誤差，且長(zhǎng)期使用造成的磨損等因素都會(huì)使其精度下降，當(dāng)前有效且廣泛應(yīng)用的方法是利用激光干涉儀對(duì)數(shù)控機(jī)床進(jìn)行螺距誤差補(bǔ)償。