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MKS萬機ELITE750射頻電源（MW-2513匹配器）

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 東莞市天美電子有限公司
品牌 其他品牌
型號
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時間 2022/5/23 11:54:48
訪問次數(shù) 1179

產(chǎn)品標簽

MKS萬機 ELITE750 射頻電源 MW-2513 匹配器

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示波器、頻譜分析儀、網(wǎng)絡分析儀、信號發(fā)生器、綜合測試儀、藍牙測試儀、色彩分析儀、音頻分析儀、直流電源、交流電源、電子負載、功率計、頻率計、萬用表...等各類測試儀器儀表。

詳細信息 在線詢價

供貨周期	現(xiàn)貨	應用領域	電子/電池

eliteTM 等離子電源應用：等離子蝕刻、化學氣相沉積和噴鍍應用的穩(wěn)定耐用性射頻電源。憑借的功率控制和數(shù)字化接口，eliteTM 電源有著現(xiàn)在等離子工藝所要求的穩(wěn)定性和重復性。

eliteTM 等離子電源特點：在13.56MHz工作頻率上，eliteTM 平臺由基于50Ω負載的300W，600W及750W產(chǎn)品組成。數(shù)字控制模塊自動量測射頻輸出功率和發(fā)射功率，確保功率輸出在1至300,600或760瓦時，有穩(wěn)定實際功率輸出，其偏差在設定值的±2%內(nèi)。可輸出高達1kHz脈沖射頻，工作比范圍為1至99%

的功率校準按照基于NIST的ENI 電源標準完成的。低諧波畸變和無虛假性能強化了該單元的射頻功率輸出控制和的射頻穩(wěn)定性。一個堅固耐用的射頻電源可以保證輸出到固定匹配器的實際功率。數(shù)字控制可以不間斷的偵測內(nèi)部子系統(tǒng)的狀態(tài)來實現(xiàn)系統(tǒng)的效益。