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半導體計量透射電鏡 Metrios AX TEM

具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱 賽默飛電子顯微鏡
  • 品牌 FEI/賽默飛
  • 型號
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時間 2025/7/30 9:48:55
  • 訪問次數(shù) 720

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原FEI公司，2016年被賽默飛世爾科技收購，成為賽默飛材料與結構分析（MSD) 電鏡事業(yè)部，是顯微鏡和微量分析解決方案的創(chuàng)新者和供應商。 我們提供掃描電子顯微鏡SEM，透射電子顯微鏡TEM和雙束-掃描電子顯微鏡DualBeam FIB-SEM，結合先進的軟件套件，運用廣泛的樣本類型，通過將高分辨率成像與物理、元素、化學和電學分析相結合，使客戶的問題變成有效可用的數(shù)據(jù)。

掃描電子顯微鏡，雙束電鏡，透射電子顯微鏡，冷凍電鏡，X射線光電子能譜儀，三維可視化軟件

價格區(qū)間 面議 儀器種類 熱場發(fā)射
應用領域 環(huán)保,化工

半導體計量透射電鏡 Metrios AX TEM

用于半導體計量和工藝表征的高生產(chǎn)率透射電子顯微鏡

半導體計量透射電鏡 Metrios AX TEM主要特點

一致、可重復、精確

全新設計，提供可重復的基于 TEM 和 STEM 的成像、分析和具備計量能力的計量器。

計量準確度

TEM 和 STEM 失真和放大率校正的組合誤差小于 0.75%。

自動化 EDS 和混合計量

通過自動化獲取和量化 EDS 數(shù)據(jù)。使用關鍵尺寸元件對比度來擴展 STEM。

工作流程連通性

通過樣品制備、提取和成像跟蹤關鍵工藝數(shù)據(jù)。計量可離線應用，從而極大增加工具采集時間。所有成像和計量數(shù)據(jù)均整合在基于網(wǎng)絡的圖像查看器中。

規(guī)格

高壓范圍 (kV)

60-200 kV

信息限度 200 kV (nm)

0.11


未校正

探頭校正*

STEM HAADF 分辨率 (nm) 200 kV

  • ≤ 0.164

  • ≤ 0.083

STEM HAADF 分辨率 (nm) 80 kV

  • ≤ 0.31

  • ≤ 0.11

用于水平和垂直的 MetroCal 晶片的計量精密度

  • ≤ 0.3 nm 3σ


電子源

  • X-CFEG 或 XFEG


超穩(wěn)定電子設備和高壓

  • 包含


隔音罩

  • 包含


恒定功率透鏡

  • 包含


壓電載物臺

  • 包含


探頭校正器兼容

  • 是






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