SPB-5/plus 等離子去膠機(jī)
- 公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
- 品牌 CIF
- 型號(hào) SPB-5/plus
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
- 更新時(shí)間 2025/6/5 10:15:39
- 訪問(wèn)次數(shù) 912
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一、 產(chǎn)品簡(jiǎn)介
CIF等離子去膠機(jī) 采用電感耦合各向同性（各個(gè)方向）等離子激發(fā)方式，適用于所有的基材及復(fù)雜的幾何構(gòu)形都可以進(jìn)行等離子體去膠。其外觀美學(xué)設(shè)計(jì)，結(jié)構(gòu)緊湊，漂亮大氣，優(yōu)化的腔體結(jié)構(gòu)及合理的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，使得處理樣品量更大，適用范圍更廣，性能更穩(wěn)定，操作更簡(jiǎn)便，性價(jià)比更高，使用成本更低，實(shí)用性更強(qiáng)，更容易維護(hù)。特別適合于大學(xué)，科研院所和微電子、半導(dǎo)體企業(yè)實(shí)驗(yàn)室，對(duì)電路板、外延片、芯片、環(huán)氧基樹(shù)脂、MEMS制造過(guò)程中犧牲層，干刻或濕刻處理前或后，對(duì)基材進(jìn)行聚合物剝離、金屬剝離、掩膜材料等光刻膠去除，以及晶圓表面預(yù)處理等。
二、CIF等離子去膠機(jī) 產(chǎn)品特點(diǎn)
1. PLC工控機(jī)控制整個(gè)去膠過(guò)程，手動(dòng)、自動(dòng)兩種工作模式。
2. 7寸彩色觸摸屏互動(dòng)操作界面，圖形化用戶操作界面顯示，自動(dòng)監(jiān)測(cè)工藝參數(shù)狀態(tài)，20個(gè)配方程序，可存儲(chǔ)、輸出、追溯工藝數(shù)據(jù)，機(jī)器運(yùn)行、停止提示。
3. 石英真空倉(cāng)，全真空管路系統(tǒng)采用316不銹鋼材質(zhì)，耐腐蝕無(wú)污染。
4. 可選用石英舟，更適合晶元硅片去膠應(yīng)用。
5. 有效處理面積大，可處理最大直徑200mm晶元硅片。
6. 采用花灑式多孔進(jìn)氣方式，改變傳統(tǒng)等離子清洗機(jī)單孔進(jìn)氣不均勻問(wèn)題。
7. 采用防腐數(shù)字流量計(jì)，實(shí)現(xiàn)對(duì)氣體輸入精準(zhǔn)控制。標(biāo)配雙路氣體輸送系統(tǒng)，可選多氣路氣體輸送系統(tǒng)，氣體分配均勻。可輸入氧氣、氬氣、氮?dú)?、四氟化碳、氫氣或混合氣等氣體。
8. HEPA高效過(guò)濾，氣體返填吹掃，防止二次污染。
9. 處理高效均勻，效率高，工藝重復(fù)性好。
10. 樣品處理溫度低，無(wú)熱損傷和熱氧化。
11. 安全保護(hù)，倉(cāng)門(mén)打開(kāi)，自動(dòng)關(guān)閉電源。
三、技術(shù)參數(shù)
型號(hào) | SPB5 | SPB5plus |
艙體尺寸 | D200xΦ155mm | D200xΦ155mm |
艙體容積 | 3.8L | 3.8L |
射頻電源 | 40KHz | 13.56MHz |
匹配器 | 自動(dòng)匹配 | 自動(dòng)匹配 |
激發(fā)方式 | 電感耦合 | 電感耦合 |
射頻功率 | 10-300W可調(diào) | 10-300W可調(diào)（可選10-600W） |
最大處理尺寸 | Φ150m | Φ150m |
氣體控制 | 質(zhì)量流量計(jì)（MFC）（標(biāo)配單路，可選雙路）流量范圍0-500SCCM（可調(diào)） | |
工藝氣體 | Ar、N?、O?、H?、CF4、CF4+ H2、CHF3或其他混合氣體等（可選） | |
時(shí)間設(shè)定 | 1-99分59秒 | |
真空泵 | 抽速約8m3/h | |
氣體穩(wěn)定時(shí)間 | 1分鐘 | |
極限真空 | ≤1Pa | |
電 源 | AC220V 50-60Hz，所有配線符合《低壓配電設(shè)計(jì)規(guī)范 GB50054-95》、《低壓配電裝置及線路設(shè)計(jì)規(guī)范》等國(guó)標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)相關(guān)規(guī)定。 | |
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