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RTP-3-01 晶化快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 武漢嘉儀通科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) RTP-3-01
  • 產(chǎn)地
  • 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
  • 更新時(shí)間 2023/6/24 16:55:06
  • 訪問(wèn)次數(shù) 242

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武漢嘉儀通科技有限公司成立于2009年是以薄膜物性測(cè)量?jī)x器作為戰(zhàn)略定位,技術(shù)自主創(chuàng)新的國(guó)家新技術(shù)企業(yè)。公司集快速退火爐,霍爾效應(yīng)測(cè)試,RTP,RTA,RTO,熱電參數(shù)測(cè)試,Seebeck系數(shù)測(cè)試,電導(dǎo)率測(cè)試,熱導(dǎo)率測(cè)試,相變溫度分析,液氮低溫恒溫器等物性檢測(cè)儀器和半導(dǎo)體工藝設(shè)備的研發(fā)、市場(chǎng)和技術(shù)服務(wù)于一體,且相繼被評(píng)為湖北省“百人計(jì)劃”及武漢市政府“城市合伙人”企業(yè)。

  武漢嘉儀通科技有限公司始終堅(jiān)持自主研發(fā)與應(yīng)用創(chuàng)新,擁有自己的技術(shù)工程師研發(fā)團(tuán)隊(duì),建有省級(jí)工程實(shí)驗(yàn)室、新型研發(fā)機(jī)構(gòu)以及市級(jí)企業(yè)技術(shù)中心平臺(tái),擁有知識(shí)產(chǎn)權(quán)100多項(xiàng),主持承擔(dān)參與了10余項(xiàng)國(guó)家科技攻關(guān)項(xiàng)目。2020 年,公司研發(fā)的“薄膜材料熱特性測(cè)試技術(shù)及儀器”技術(shù)與產(chǎn)品榮獲了“湖北省技術(shù)發(fā)明一等獎(jiǎng)”。核心序列產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于大專(zhuān)院校、科研院所、第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)和工業(yè)企業(yè)等細(xì)分領(lǐng)域,并服務(wù)于國(guó)內(nèi)近500家客戶。除此之外,核心產(chǎn)品還遠(yuǎn)銷(xiāo)美國(guó)、英國(guó)、日本、澳大利亞、以色列、香港、澳門(mén)、中國(guó)臺(tái)灣等20多個(gè)國(guó)家和地區(qū),實(shí)實(shí)在在為新材料的科研和生產(chǎn)創(chuàng)造了價(jià)值。未來(lái),公司依托省級(jí)科研共享平臺(tái)的大數(shù)據(jù)分析,為世界各國(guó)用戶的薄膜技術(shù)研究及戰(zhàn)略方向提供理論依據(jù)與數(shù)據(jù)支撐。 

  武漢嘉儀通科技有限公司秉承技術(shù)創(chuàng)新、應(yīng)用為上的行動(dòng)準(zhǔn)則,遵循“專(zhuān)注、創(chuàng)新、成長(zhǎng)、勤勉”的核心價(jià)值理念,認(rèn)真做好每一款產(chǎn)品,為客戶提供合適的產(chǎn)品與優(yōu)質(zhì)的服務(wù)。最終實(shí)現(xiàn)公司愿景:和員工一起成長(zhǎng)為薄膜(熱)測(cè)量領(lǐng)域的先鋒者!

 

快速退火爐,半導(dǎo)體退火設(shè)備,液氮低溫恒溫器,快速退火爐RTP

晶化快速退火爐  嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備采用紅外輻射加熱技術(shù),可實(shí)現(xiàn)1吋(選配2吋)樣品快速升溫和降溫,同時(shí)搭配超高精度溫度控制系統(tǒng),可達(dá)到好的溫場(chǎng)均勻性,對(duì)薄膜材料進(jìn)行晶化快速退火處理,提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。

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晶化快速退火爐 嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備產(chǎn)品特點(diǎn):

快速加熱和降溫: 可控升溫速率可達(dá)50 ℃/s,特定條件下可以達(dá)到100 ℃/s。冷壁水冷設(shè)計(jì)能夠達(dá)到較大的降溫速率,特定條件下可達(dá)30 ℃/s。

 精確控溫: 采用工業(yè)級(jí)溫控器進(jìn)行PID精確控溫,目標(biāo)溫度與設(shè)定溫度曲線一致性高,可實(shí)現(xiàn)室溫至1200 ℃的溫度精確控制。

 適應(yīng)多種工藝環(huán)境: 滿足多種工藝氣氛下的熱處理(氮?dú)?、氬氣等)。同時(shí),通過(guò)選配真空泵,可以在真空條件下進(jìn)行退火,真空度可達(dá)10-3Pa。

 配備觀察窗口: 通過(guò)觀察窗口,可以實(shí)時(shí)觀察熱處理過(guò)程中的樣品變化。同時(shí),可以結(jié)合相關(guān)測(cè)試方法進(jìn)行原位測(cè)試分析。

 超高安全系數(shù): 采用爐壁超溫報(bào)警系統(tǒng)和冷卻水流量報(bào)警系統(tǒng),多方位保障儀器使用安全。

 國(guó)產(chǎn)退火爐:擁有自主研發(fā)技術(shù)和制造能力,能快速反應(yīng)客戶售后需求。

 

晶化快速退火爐技術(shù)參數(shù):

 

型號(hào)

RTP-3-01系列

溫度

1200℃

升溫速率

50℃/s

溫度均勻性

≦1%設(shè)定溫度

溫度控制

選用工業(yè)級(jí)溫控器,控溫精度±0.1℃

溫度傳感器

標(biāo)準(zhǔn)K型熱電偶

降溫速率

1200℃→400℃,200℃/min

400℃→100℃,20℃/min

(自然冷卻)

樣品尺寸

W20 x L20 x T2   (mm)

主機(jī)尺寸

W420X L320X   H220 (mm)

主機(jī)重量

20.5kg

 

晶化快速退火爐  嘉儀通 半導(dǎo)體退火設(shè)備客戶案例:

 

清華大學(xué)使用嘉儀通1吋晶化快速退火爐給HfO2薄膜做晶化退火,得到晶相一致晶粒較小的晶體,提高薄膜材料的均勻性及穩(wěn)定性。

 


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