PSPM 手動(dòng)永磁鐵探針臺(tái)

Avantgarde 室溫永磁鐵探針臺(tái)為半導(dǎo)體芯片的電參數(shù)測(cè)試提供一個(gè)測(cè)試平臺(tái)，外接不同的測(cè)量?jī)x器，配合測(cè)量?jī)x器可完成集成電路的電壓、電流、電阻以及電容電壓特性曲線等參數(shù)檢測(cè)。另外，可用于測(cè)量半導(dǎo)體材料的載流子濃度、遷移率、電阻率、霍爾系數(shù)等重要的霍爾參數(shù)。在室溫下對(duì)芯片、晶圓和器件進(jìn)行非破壞測(cè)試。

PSPM系列室溫永磁體探針臺(tái)是一款專門針對(duì)室溫垂直磁場(chǎng)電測(cè)環(huán)境開發(fā)的探針臺(tái)，提供0.5T垂直磁場(chǎng)，能夠?qū)?寸、4寸、6寸、8寸晶圓片進(jìn)行重復(fù)性的、標(biāo)準(zhǔn)的電學(xué)實(shí)驗(yàn)，外接不同的測(cè)試設(shè)備可以完成對(duì)器件的電學(xué)特性測(cè)量、參數(shù)測(cè)量、DC測(cè)量、RF測(cè)量和霍爾測(cè)量。

特點(diǎn)

• 樣品座可以放置8英寸的晶圓樣品，通過移動(dòng)樣品座下面的滑臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)X-Y軸±100mm的移動(dòng)行程，并且樣品座本身可以進(jìn)行三維上的精細(xì)調(diào)節(jié)，使得樣品測(cè)試    和換樣更加便捷。

• 探針臂底座采用磁鐵吸附固定，可使探針在X-Y-Z三個(gè)維度上進(jìn)行調(diào)節(jié)，配合樣品座位移調(diào)節(jié)，可滿足探針快速扎到8英寸樣品的任意位置

• 探針臂采用三同軸線纜和三同軸接頭，漏電性小，漏電流在100fA以內(nèi)，探針臂內(nèi)置線纜，避免雜亂的走線

• 探針采用針套固定，只有針尖裸露在外，減小漏電

• 永磁鐵采用電動(dòng)控制，可以實(shí)現(xiàn)前進(jìn)后退翻轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)

• 永磁鐵支架與探針臺(tái)采用分體隔離支架，在磁體運(yùn)動(dòng)時(shí)避免振動(dòng)傳導(dǎo)到樣品上

• 樣品固定方式采用多孔分區(qū)吸附，有外圈、內(nèi)圈和中間三個(gè)單獨(dú)控制的氣體吸附通道，可吸附固定1mm*1mm樣品