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150mm&300mm 全自動納米壓印光刻預(yù)處理設(shè)備

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青島天仁微納科技有限責(zé)任公司成立于2015年，是引新的納米壓印設(shè)備和解決方案提供商。公司的核心競爭力是為客戶提供納米壓印整體解決方案。產(chǎn)品與服務(wù)涵蓋納米壓印相關(guān)的設(shè)備、模具、材料、工藝以及生產(chǎn)咨詢服務(wù)。我們致力于拓展納米壓印技術(shù)在創(chuàng)新產(chǎn)品領(lǐng)域的應(yīng)用，例如發(fā)光二極管（LEDs）、微納機電系統(tǒng)（MEMs/NEMs）、虛擬現(xiàn)實和增強現(xiàn)實光波導(dǎo)（AR Waveguides）、3D傳感、生物芯片、顯示以及太陽能等。

微納加工設(shè)備，配套材料，配套產(chǎn)品，相關(guān)領(lǐng)域的技術(shù)咨詢服務(wù)

全自動納米壓印光刻基底預(yù)處理；

Cassette to cassette機械手自動上下片，包含基底清洗、勻膠、烘烤和冷卻功能；

毛刷清洗、二流體清洗、兆聲波清洗；

旋涂勻膠，包含自動供膠系統(tǒng)、EBR、BSR等功能；

熱板烘烤、冷板冷卻功能；

可選配Plasma表面處理功能。



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