碳化硅SiC長晶設(shè)備

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公司名稱 上海納騰儀器有限公司
品牌 其他品牌
型號
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 代理商
更新時(shí)間 2024/6/17 18:46:54
訪問次數(shù) 2853

產(chǎn)品標(biāo)簽

長晶爐氮化硅薄膜沉積晶體生長

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公司介紹 主營產(chǎn)品

上海納騰儀器有限公司是從事掃描探針顯微鏡(SPM)銷售的專業(yè)公司。公司作為俄羅斯NT-MDT在中國大陸及港、澳地區(qū)的經(jīng)銷商(RESELLER)，在掃描探針顯微鏡(SPM)領(lǐng)域有多年的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，擁有一支成熟的銷售、技術(shù)團(tuán)隊(duì)，迄今已累計(jì)銷售超過100臺(套)儀器。

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掃描探針顯微鏡光學(xué)顯微鏡納米光學(xué)輪廓儀教學(xué)型凝固點(diǎn)測定儀日本原裝桌面式隔振平臺

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碳化硅SiC長晶設(shè)備

是實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量SiC晶體生長、高純度原料合成、高溫晶體熱處理的專業(yè)設(shè)備。廣泛應(yīng)用于SiC晶體生長、原料合成、晶體熱處理領(lǐng)域。可以生長6/8英寸的晶錠。

碳化硅SiC長晶設(shè)備

碳化硅SiC長晶設(shè)備

真空爐腔系統(tǒng)較為限本底真空值達(dá)到≤5.0E-5Pa，升壓率≤3Pa/12h，保證晶體生長的穩(wěn)定性

．智能化生長及監(jiān)測系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)多種制程精確定制，工藝優(yōu)化，長晶全過程實(shí)時(shí)監(jiān)控，數(shù)據(jù)可視化存檔

．新型感應(yīng)加熱線圈設(shè)計(jì)，有效提高熱場加熱的均勻性和穩(wěn)定性
．業(yè)內(nèi)1st創(chuàng)的PIM自檢系統(tǒng)，有效減免制程時(shí)間浪費(fèi)
．穩(wěn)定可靠的水冷系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了水道管路溫度、流量的實(shí)時(shí)監(jiān)控，保證了生長室溫場的穩(wěn)定性
．可生產(chǎn)6英寸P級碳化硅襯底，微管缺陷密度＜0.5個(gè)／cm²，電阻率達(dá)0.015-0.0280