Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
品牌 北方華創(chuàng)
型號 Pallas A220
產地
廠商性質 經銷商
更新時間 2025/6/5 12:21:38
訪問次數 469

產品標簽

Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng)北方華創(chuàng)

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術服務的高新技術企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設備、半導體光電測試儀表及相關儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權利 29 項，軟件著作權 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

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1. 產品概述

Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng)，加熱分區(qū)設計，具備良好的溫度均勻性，高精度的控溫模式，更優(yōu)的升溫速率。

2. 設備用途/原理

Pallas A220 碳化硅快速熱退火系統(tǒng)，加熱分區(qū)設計，具備良好的溫度均勻性，高精度的控溫模式，更優(yōu)的升溫速率。

3. 設備特點

晶圓尺寸 6/8 英寸兼容，適用工藝快速熱退火。適用域科研、化合物半導體。?碳化硅快速熱退火系統(tǒng)?是一種特殊的加熱設備，能夠在短時間內將碳化硅材料迅速加熱到高溫，并通過快速冷卻的方式使其達到非常高的溫度梯度。這種系統(tǒng)的主要應用領域包括CMOS器件后端制程、GaN薄膜制備、SiC材料晶體生長以及拋光后退火等。