PFS系列活性化退火設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
品牌 ULVAC/日本愛發(fā)科
型號 PFS系列
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時間 2025/6/5 14:20:12
訪問次數(shù) 556

產(chǎn)品標簽

活性化退火設(shè)備 PFS系列退火爐 ULVAC 愛發(fā)科

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

PFS系列是SiC工藝等高溫處理工藝中，配合使用的退火設(shè)備。可大對應φ 150mm。活性化退火設(shè)備?是一種專門用于半導體行業(yè)的技術(shù)設(shè)備，它屬于退火爐的一種，用于加熱半導體晶片以影響其電性能。退火爐在半導體器件制造中扮演著重要的角色，通過加熱晶片來激活摻雜劑、轉(zhuǎn)換薄膜形態(tài)、修復注入損傷等，從而改善半導體的電氣性能。這種設(shè)備通常具有節(jié)能型周期式作業(yè)爐結(jié)構(gòu)，采用超節(jié)能設(shè)計和纖維結(jié)構(gòu)，以實現(xiàn)高效節(jié)能。此外，活性化退火設(shè)備還能夠集成到其他爐子處理步驟中，如氧化處理，或者獨立進行處理，以滿足不同的工藝需求。

2. 設(shè)備用途/原理

SiC功率器件用。研究開發(fā)。量產(chǎn)用。

3. 設(shè)備特點

大可對應φ150mm基板。大可加熱2000℃。高真空對應。單批次25片一次性處理（也有5片處理機）