<u id="fcksd"></u>

產(chǎn)品展廳

產(chǎn)品求購企業(yè)資訊會展

發(fā)布詢價單

化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>熱工藝設(shè)備/熱處理設(shè)備>退火爐> LSA 101 激光退火爐

舉報評價

LSA 101 激光退火爐

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
品牌 Veeco
型號
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時間 2025/6/5 16:09:17
訪問次數(shù) 572

產(chǎn)品標(biāo)簽

激光退火

在線交流發(fā)送詢價進(jìn)入商鋪同類產(chǎn)品

聯(lián)系方式：謝澤雨19842703026 查看聯(lián)系方式

聯(lián)系我們時請說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!

索取相關(guān)資料

公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

Veeco 的 LSA101 系統(tǒng)安裝在 IDM 和晶圓代工廠，是大批量制造 40nm 至 14nm 節(jié)點的先進(jìn)邏輯器件的技術(shù)。LSA 101 的掃描技術(shù)基于 Veeco 的可定制 Unity 平臺™構(gòu)建，在均勻性和低應(yīng)力處理方面具有根本優(yōu)勢。LSA101 系統(tǒng)可實現(xiàn)關(guān)鍵的毫秒級退火應(yīng)用，使客戶能夠保持精確、有針對性的高加工溫度，從而提高設(shè)備性能、降低泄漏和提高產(chǎn)量。

標(biāo)準(zhǔn) LSA101 配置利用單束窄激光束將晶圓表面從襯底溫度加熱到峰值退火溫度。為了應(yīng)對日益復(fù)雜的工藝需求，Veeco 開發(fā)了一種雙光束技術(shù)，該技術(shù)擴大了非熔融激光退火的應(yīng)用空間，并具有第二個低功率激光束以實現(xiàn)低溫加工。當(dāng)使用雙光束時，會結(jié)合第二個更寬的激光束來預(yù)熱晶圓。雙光束系統(tǒng)在調(diào)節(jié)溫度和應(yīng)力分布方面提供了靈活性。