TFS 500 原子層沉積研究設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 深圳市矢量科學儀器有限公司
品牌 Beneq
型號 TFS 500
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時間 2025/6/5 19:47:54
訪問次數(shù) 484

產(chǎn)品標簽

原子層沉積

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

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價格區(qū)間	面議	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池,電氣,綜合

TFS 500 是薄膜鍍膜應(yīng)用的理想選擇。作為第一個 Beneq 反應(yīng)器模型，已被證明是用于深入研究原子層沉積研究和穩(wěn)健批處理的多功能工具。TFS 500 是多項目環(huán)境的理想工具。

TFS 500 可以處理多種類型的基材;晶圓、平面物體、顆粒和多孔散裝材料，以及具有高縱橫比特征的復(fù)雜 3D 物體。它還可以配備手動操作的負載鎖，以提高晶圓處理能力。不同類型的反應(yīng)室可以很容易地安裝在真空室內(nèi)，這反過來又可以針對每個客戶應(yīng)用優(yōu)化每個反應(yīng)室。

TFS 500既滿足了工業(yè)可靠性的嚴格要求，又滿足了研發(fā)操作靈活性的需求。過程組件是現(xiàn)成的物品，這確保了備件的可用性。所有體容器都可以在短時間內(nèi)輕松更換。前驅(qū)體準備包括氣體、液體和固體材料。為了在前驅(qū)體選擇上具有充分的靈活性，我們額外提供了 500 °C 熱源選項。

自2014年以來，Beneq一直與MBRAUN合作，通過提供交鑰匙研發(fā)解決方案來滿足日益增長的OLED市場需求。此次合作的目標是將 Beneq 突破性薄膜封裝技術(shù)的專業(yè)知識與 MBRAUN 的手套箱、定制外殼和獨立單元相結(jié)合。