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KS-FT200/300 前道8/12寸 涂膠顯影機

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
產(chǎn)品標(biāo)簽

涂膠顯影

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1.產(chǎn)品概述:
KS-FT200/300系列堆疊式高產(chǎn)能道涂膠顯影機,為我司自主研發(fā)的突破晶圓道28nm工藝節(jié)點及以上工藝制程,適用于ArF、KrF、I-Line、PI、BARC,SOC,SOD,SOG等多種材料涂覆顯影工藝的機臺。支持與光刻機聯(lián)機作業(yè)。該系列機臺通過各種行業(yè)認(rèn)證,占地面積小、可靠性高、易于維護,滿足各種功能芯片制程需求。

2.產(chǎn)品優(yōu)勢:

1. 堆疊式高產(chǎn)能架構(gòu),占地面積小

2. 可與光刻機聯(lián)機,滿足工廠自動化需求

3. 配備多段回吸的多腔體共用供膠系統(tǒng),有效節(jié)省光刻膠的用量

4. 選配高精度熱板、WEE、AOI等單元部件,滿足更高標(biāo)準(zhǔn)工藝需求

5. 核心單元模塊化設(shè)計,組合方式靈活多變,大限度客制化

3.應(yīng)用域:

● 邏輯電路

● CMOS射頻電路

● 功率器件

● MEMS系統(tǒng)芯片

● 閃存內(nèi)存                                    

● CIS

● 驅(qū)動芯片

● OLED等          







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