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KS-C300 12寸 集束型涂膠顯影機

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產(chǎn)品標簽

涂膠顯影

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深圳市矢量科學儀器有限公司是集半導體儀器裝備代理及技術(shù)服務的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導體分析測試設(shè)備、半導體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項,軟件著作權(quán) 14 項,是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺,快速退火爐,光刻機,納米壓印、磁控濺射,電子束蒸發(fā)

1. 產(chǎn)品概述

KS-C300涂膠顯影機是一款高效能的設(shè)備,廣泛應用于封裝、MEMS(微電機械系統(tǒng))、OLED(有機發(fā)光二極管)等領(lǐng)域的涂覆和顯影制程。該設(shè)備的設(shè)計理念強調(diào)高產(chǎn)能與靈活性,每小時可以加工高達180片晶圓,極大地提高了生產(chǎn)效率。這一特性對于滿足快速變動的市場需求,尤其是在高科技產(chǎn)業(yè)中無疑具有重要意義。

KS-C300不僅具備處理能力,還有出色的兼容性,能夠適應不同材質(zhì)的晶圓,包括硅晶片、玻璃片、鍵合片以及各種化合物材料。這樣的多樣化選擇使得設(shè)備能夠被廣泛應用于多種芯片制造領(lǐng)域,包括邏輯類和存儲類芯片、攝像頭芯片以及功率器件芯片等。

此外,KS-C300的國產(chǎn)化集成電路設(shè)備的成功應用,為客戶提供了一個顯著的成本優(yōu)勢。通過國產(chǎn)設(shè)備的引入,客戶不僅能夠節(jié)省大量的采購及維護成本,還能加快設(shè)備的調(diào)試與服務響應,縮短產(chǎn)品上市時間。這一系列優(yōu)點使得KS-C300在行業(yè)內(nèi)受到廣泛認可與青睞。

該設(shè)備還通過了嚴格的SEMI S2認證,進一步證明了其在安全性、可靠性及高性能等方面的表現(xiàn)。SEMI S2認證是半導體設(shè)備行業(yè)的重要標準,確保設(shè)備在生產(chǎn)過程中符合國際安全及環(huán)境保護要求,為客戶提供了額外的信心??傮w來看,KS-C300涂膠顯影機憑借其高效的生產(chǎn)能力、多樣化的兼容性以及可靠的安全標準,成為先進半導體制造工藝中的設(shè)備之一。

2. 產(chǎn)品優(yōu)勢:

適合超薄晶圓處理,超厚膠涂敷、顯影、烘焙工藝
涂膠單元特殊設(shè)計,避免高黏度膠離心涂敷時產(chǎn)生的“棉花糖"現(xiàn)象
機臺為全封閉模塊化結(jié)構(gòu),工藝單元靈活選配
占地面積小,產(chǎn)能高

工藝上可實現(xiàn)5mm以下晶圓翹曲片的傳送加工,熱板采用漸進式烘焙
可滿足工廠自動化需求,無人值守

3. 應用域:

封裝
MEMS
OLED





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