Tebaank® Pishow® P 8英寸硅刻蝕設(shè)備

具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司
品牌魯汶
型號 Tebaank® Pishow® P
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 經(jīng)銷商
更新時間 2025/6/5 21:24:03
訪問次數(shù) 474

產(chǎn)品標(biāo)簽

深硅刻蝕

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公司介紹 主營產(chǎn)品

深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。

展開

冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

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1. 產(chǎn)品概述：

Tebaank® Pishow® P 硅刻蝕設(shè)備是面向8英寸集成電路制造的量產(chǎn)型設(shè)備設(shè)備由電感耦合等離子體刻蝕腔（ICP etch chamber）以及傳輸模塊（transfer module）構(gòu)成

適用于0.11微米及其它技術(shù)代的多晶硅柵（poly gate）、側(cè)墻（spacer）、淺溝槽隔離（STI）工藝

2. 工藝數(shù)據(jù)

3 μm Trench

0.4 μm Trench

0.25 μm Trench

2 μm Poly

0.18 μm Poly

3. 詳細介紹

Tebaank® Pishow® P 硅刻蝕設(shè)備，為8英寸IC產(chǎn)線上柵工藝的多腔式量產(chǎn)型設(shè)備，擁有自主開發(fā)的優(yōu)化設(shè)計，保證了優(yōu)異的刻蝕均勻性（片內(nèi)<5%，片間<5%）和顆?？刂?。提供AA、gate、STI、spacer、W recess等各項工藝的刻蝕解決方案。該設(shè)備高性價比的解決方案和優(yōu)秀的空間利用率，可為客戶產(chǎn)能升提供幫助。