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PlasmaPro 100 Polaris 單晶圓刻蝕系統(tǒng)

具體成交價以合同協(xié)議為準
產(chǎn)品標簽

刻蝕堅硬材料刻蝕

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深圳市矢量科學(xué)儀器有限公司是集半導(dǎo)體儀器裝備代理及技術(shù)服務(wù)的高新技術(shù)企業(yè)。

致力于提供半導(dǎo)體前道制程工藝裝備、后道封裝裝備、半導(dǎo)體分析測試設(shè)備、半導(dǎo)體光電測試儀表及相關(guān)儀器裝備維護、保養(yǎng)、售后技術(shù)支持及實驗室整體服務(wù)。

公司目前已授實用新型權(quán)利 29 項，軟件著作權(quán) 14 項，是創(chuàng)新型中小企業(yè)、科技型中小企業(yè)、規(guī)模以上工業(yè)企業(yè)。










冷熱臺，快速退火爐，光刻機，納米壓印、磁控濺射，電子束蒸發(fā)

    1. 產(chǎn)品概述

憑借在蝕刻GaN，SiC和藍寶石等材料方面的豐富經(jīng)驗，我們的技術(shù)既能夠滿足性價比的要求、又能使器件的性能得到更優(yōu)化。PlasmaPro 100 Polaris單晶圓刻蝕系統(tǒng)為得到更為精細的刻蝕效果提供了智能解決方案，使您在行業(yè)中能保持競爭優(yōu)勢。

2. 特色參數(shù)

高效的刻蝕速率

低購置成本

為腐蝕性的化學(xué)成分而設(shè)計

出色的刻蝕均勻性

適用于藍寶石的靜電壓盤技術(shù)

藍寶石和硅上的GaN

高導(dǎo)通抽氣系統(tǒng)

可與其它PlasmaPro系統(tǒng)集成

主動冷卻電 - 在刻蝕過程中保持樣品溫度。

高功率ICP源 - 產(chǎn)生高密度等離子體。

可靠的硬件且易于維護 - 可保持長時間正常運轉(zhuǎn)。

磁場墊環(huán) - 增強離子的控制和均勻性。

靜電壓盤技術(shù) - 適用于藍寶石，以及藍寶石和硅基的GaN。

加熱的腔室內(nèi)襯 - 優(yōu)化以減少腔壁沉積。

先進的自動匹配單元（AMU） - 提供快速，高效和準確的匹配，確保了工藝的高度精準重復(fù)性


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