Fiji 等離子增強原子層沉積PEALD

1. 用于高研究的先進能力

我們的 Fiji® 系列是一種先進的模塊化、高真空熱原子層沉積（ALD）系統(tǒng)，專為滿足當今快速發(fā)展的技術需求而設計。該系列系統(tǒng)以其靈活的架構著稱，能夠支持多種驅體和等離子體氣體配置，使用戶能根據具體的沉積要求進行精確調整。這種適應性使得 Fiji® 系列在各種薄膜材料的沉積應用中表現出色，特別適合于半導體、太陽能電池、光電器件以及納米技術等領域。

作為該系列的最新產品，Fiji G2 是一款下一代 ALD 系統(tǒng)，以其性能和創(chuàng)新的技術再次提升了原子層沉積的標準。Fiji G2 不僅能夠執(zhí)行熱成像沉積，還支持等離子體增強沉積（PEALD），為用戶提供更廣泛的沉積模式選擇。這一特性使得該系統(tǒng)在處理對膜質量和厚度的應用時，具有更大的靈活性和優(yōu)勢。

Fiji® 系列的直觀用戶界面使得操作和監(jiān)控過程變得簡單方便，用戶可以隨時輕松地監(jiān)控系統(tǒng)狀態(tài)，并根據需要實時調整配方和處理流程。這種直觀性不僅降低了操作復雜度，還大大提高了生產效率，幫助用戶快速響應市場需求變化。

2. FIJI的高功能包括：

有的腔室渦輪增壓泵系統(tǒng)

改進的等離子體設計

符合人體工程學的操作界面

原位橢圓偏振儀

原位石英晶體微天平

綜合臭氧

手套箱接口

Fiji® 提供多達 6 條驅體管線，可容納固體、液體或氣體驅體，以及 6 條等離子氣體管線，在緊湊且經濟的占地面積中提供了顯著的實驗靈活性。