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RTP快速退火爐600Z

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      本所自開發(fā)RTP快速退火系列產(chǎn)品以來已近30年。自1988年受中科院委托研發(fā)光照快速熱處理設(shè)備以來與清華,北大,浙大,半導(dǎo)體所,微電子所,物理所等高校研究所共同進(jìn)步,為華為,三安光電,中電科等半導(dǎo)體企業(yè)保駕護(hù)航,也被一些海外的教授專家所青睞。如香港理工大學(xué),香港中文大學(xué),香港科技大學(xué)。美國堪薩斯州立大學(xué),美國揚斯頓州立大學(xué)和新加坡南洋理工大學(xué)也有數(shù)臺在科研教學(xué)一線。

快速退火爐,真空快速退火爐

RTP快速退火爐600Z
RTP快速退火爐600Z
性能指標(biāo) 配備狀態(tài)
溫度范圍 150 – 1250 ℃
升溫速率 2  —  200℃/秒可調(diào)
溫度均勻性 ±2度
樣品尺寸 6英寸
降溫速率 80℃/秒
計算機(jī)控制器 聯(lián)想筆記本電腦控制, Windows7以及RTP-600控制軟件.
可編程溫度曲線存儲500 條以上, 每條曲線包括50段以上, 溫度設(shè)定范圍 100—1300 ℃ , 時間設(shè)定范圍1—30000 秒。數(shù)據(jù)可導(dǎo)出為文本文件便于數(shù)據(jù)處理。
溫度穩(wěn)態(tài)穩(wěn)定性 ±2℃
托盤 6英寸石英架
光源 鹵鎢燈
處理氣氛 一路MFC氮氣0-15SLPM
冷卻方式 CDA噴淋,水冷
電源 380 V  63A 三相 4線(三火線, 零線)
水源 自來水或循環(huán)水, 水壓 1—3 kg / 平方厘米, 流量6-8升/分

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