化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導(dǎo)體行業(yè)專用儀器>光刻及涂膠顯影設(shè)備>無掩模光刻機(jī)/直寫光刻機(jī)> 臺式光刻機(jī)_百科_江蘇雷博供應(yīng)杭州/上海等地
臺式光刻機(jī)_百科_江蘇雷博供應(yīng)杭州/上海等地
具體成交價以合同協(xié)議為準(zhǔn)
- 公司名稱 江蘇雷博科學(xué)儀器有限公司
- 品牌
- 型號
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/7/29 18:54:19
- 訪問次數(shù) 1557
產(chǎn)品標(biāo)簽
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臺式光刻機(jī)參數(shù):
1.最大曝光面積:160mm*160mm
?、?曝光分辨率:1u m(膠厚≤0.5um的正膠)
3.對準(zhǔn)精度:± 1um(標(biāo)準(zhǔn)晶圓拋光片)
4.光源強(qiáng)度:35mW/cm2
5.曝光波長:LED光源(進(jìn)口燈珠,壽命>1萬小時)
6.曝光方式:定時(倒計時方式)
7.掩模樣片相對運(yùn)動范圍:X:優(yōu)于±5mm;
8.Y:優(yōu)于±5mm;0:優(yōu)于±6°
9.掩模尺寸:7英寸,樣片規(guī)格:6英寸(晶圓片)
10.數(shù)字設(shè)定對準(zhǔn)間隙和曝光間隙
11.掩模樣片分離間隙:6 =O-500um連續(xù)可調(diào)
12.對準(zhǔn)方式:自動對準(zhǔn),可根據(jù)客戶需求,增加對準(zhǔn)標(biāo)記的類型,累計不超過4組
13.自動輸片:機(jī)械手自動輸片(專用樣片機(jī)械手臂及片叉),含預(yù)對準(zhǔn)定位功能
14.顯微掃描范圍:Y:± 40mm(數(shù)字設(shè)定)
15.具備正壓氣浮曝光、硬接觸曝光、壓力接觸曝光,以及接近式曝光四種功能CCD+遠(yuǎn)心鏡頭+顯示器對準(zhǔn),光學(xué)合像
16.調(diào)平接觸壓力通過傳感器保證重復(fù)
17.雙物鏡可調(diào)距離范圍:30mm-130mm

