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化工儀器網>產品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>離子注入設備>離子注入機>SOPHI-400 日本ULVAC愛發(fā)科半導體兼容高能離子注入機

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SOPHI-400 日本ULVAC愛發(fā)科半導體兼容高能離子注入機

具體成交價以合同協(xié)議為準

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玉崎科學儀器(深圳)有限公司是京都玉崎株式會社全資設立的中國子公司，專業(yè)從事國內貿易/國際貿易業(yè)務，主要經營光學設備、電子計測儀器、科學儀器、機械設備、環(huán)境試驗設備、PC周邊用品、作業(yè)工具用品、電源、化學用品、FA自動化多類上萬種產品的銷售。公司憑借優(yōu)秀的渠道管理能力，可控的交期和匹配的物流體系，科學嚴謹?shù)漠a品質量，專業(yè)的線下服務能力,為客戶提供極有競爭力的價格以及各方位的技術支持

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

真空泵;離心機,;監(jiān)測儀,真空系統(tǒng),除塵裝置,數(shù)字粉塵儀;粒子計數(shù)器,環(huán)境監(jiān)測設備,環(huán)境測量設備 環(huán)境檢測設備

日本ULVAC愛發(fā)科半導體兼容高能離子注入機

日本ULVAC愛發(fā)科半導體兼容高能離子注入機


兼容高能離子注入機SOPHI-400

這是一種高能離子注入機，可處理高達 1200keV 的電壓。


中電流離子注入機IMX-3500是一款最高能量為200kV、晶圓尺寸最大為8英寸的離子注入機，非常適合大學的研發(fā)。


特征

  • 單片式

  • 兼容薄晶圓

  • 平行光束

  • 最大晶圓尺寸為8英寸，配備可處理不規(guī)則形狀基板的壓板。

  • 除了氣體源之外，固體蒸發(fā)源也可用于易于安全處理 B、P 和 As 離子的離子源。

  • 高壓端子部分與量產設備配置相同，確保高可靠性。


目的

  • 功率器件薄基板工藝、IGBT工藝

規(guī)格

  • 板材尺寸：Max200mm

  • 最大電壓：Max1200 keV

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具體的成交價格可能因商品參加活動等情況發(fā)生變化，也可能隨著購買數(shù)量不同或所選規(guī)格不同而發(fā)生變化，如用戶與商家線下達成協(xié)議，以線下協(xié)議的結算價格為準，如用戶在上完成線上購買，則最終以訂單結算頁價格為準。


也可能隨著購買數(shù)量不同或所選規(guī)格不同而發(fā)生變化，最終以訂單結算頁價格為準。



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