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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>半導體行業(yè)專用儀器>工藝測量和檢測設備>晶圓缺陷光學檢測設備> KLA Candela® 6300系列光學表面分析儀系統(tǒng)

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KLA Candela® 6300系列光學表面分析儀系統(tǒng)

參考價￥50000-￥999999/臺
具體成交價以合同協(xié)議為準

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FIRSTNANO成立于2012年，一家由三位材料學博士共同創(chuàng)辦的德國公司?；?/span> “Science is international”的想法，“全球協(xié)同實驗室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學家到科學家，科學開創(chuàng)美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導體技術、材料科學、生命科學等科研領域，始終秉承“前沿、專業(yè)、科學”的宗旨，將前沿技術引進到協(xié)同實驗室。我們的產(chǎn)品覆蓋了微納加工制程；材料科學的檢測、分析；生命科學成像，腦科學與行為認知等相關領域。作為全球科技前沿的儀器供應商，FIRSTNANO具有全球技術視野、優(yōu)質(zhì)供應體系、以及嚴格的質(zhì)量管控系統(tǒng)，能為客戶提供前沿的技術解決方案。

公司服務的客戶領域廣泛，其中包括消費電子、航空、航天、醫(yī)藥技術、半導體行業(yè)、光電子行業(yè)、高校和研究機構(gòu)。

在成長的過程中，我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港（中華區(qū)）公司成立以來，我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設立了分支機構(gòu)。

我們真誠邀請業(yè)內(nèi)英才加入FIRSTNANO TEAM，一起為夢想揚帆起航！

 

 

 

 

 

半導體儀器和電子產(chǎn)品耗材耗材

KLA Candela® 6300系列光學表面分析儀系統(tǒng)基于激光的硬盤驅(qū)動器基板檢測系統(tǒng)，可測量整個磁盤的表面形貌，微觀粗糙度和波紋度，并檢查晶圓表面是否存在缺陷。自動化模型Candela 6340配有片盒對片盒傳輸系統(tǒng)。

KLA Candela® 6300系列光學表面分析儀系統(tǒng)利用多通道光學設計，結(jié)合激光穩(wěn)定性管理技術，以及強大的光學表面測量功能，對邊緣roll-off、紋理/拋光均勻性、高密度互連的表征以及劃痕和微粒進行檢測。檢測和量測系統(tǒng)的光學掃描技術可在徑向和切線方向上對整個磁盤的形貌進行量測，并允許制造商使用單一的工具來測量整個空間光譜。KLA Candela® 6300系列增加了激光功率、降低了本底噪聲以及新的光學設計消除了對用于缺陷檢測的濺射玻璃基板的需求，從而可以識別<0.1&angst;的粗糙度變化。

KLA Candela® 6300系列光學表面分析儀系統(tǒng)



功能

  • 提供業(yè)界最寬的空間帶寬和優(yōu)秀的本底噪聲

  • 測量切向、徑向粗糙度和波紋度

  • 可重復量測金屬和玻璃介質(zhì)并與AFM測量結(jié)果相關聯(lián)

  • 對不同尺寸的磁盤進行快速的全晶圓檢測

  • 對輕微劃痕、沾污和微粒檢測具有高靈敏度

  • 創(chuàng)新型光學表面分析(OSA)技術

  • 可提供手動(6310) 或全自動(6340)

KLA Candela® 6300系列光學表面分析儀系統(tǒng)

應用案例

  • 粗糙度和波紋度分析

  • 缺陷檢測

  • 劃痕和隆起檢查

  • 微粒和沾污檢測

  • 微觀波紋度測量

KLA Candela® 6300系列光學表面分析儀系統(tǒng)


選項

  • 精密的金剛石劃線

  • 離線軟件

  • 大尺寸軟件許可證



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