70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源
- 公司名稱 上海昊量光電設(shè)備有限公司
- 品牌 昊量光電
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地
- 廠商性質(zhì) 代理商
- 更新時(shí)間 2025/4/12 11:22:19
- 訪問次數(shù) 148
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上海昊量光電設(shè)備有限公司
Aunion Tech Co., Ltd
專業(yè)源自專注 專注成就未來
自2008年成立以來，昊量光電專注于光電領(lǐng)域的技術(shù)服務(wù)與產(chǎn)品經(jīng)銷，致力于引進(jìn)guo外*先進(jìn)性與創(chuàng)新性的光電技術(shù)與可靠產(chǎn)品，為國(guó)內(nèi)Z前沿的科研與工業(yè)領(lǐng)域提供優(yōu)質(zhì)的產(chǎn)品與服務(wù)，助力中國(guó)智造與中國(guó)創(chuàng)造! 目前，昊量光電已經(jīng)與來自美國(guó)、歐洲、日本的多家光電產(chǎn)品制造商建立了緊密的合作關(guān)系。其代理品牌均處于相關(guān)領(lǐng)域的發(fā)展前沿，產(chǎn)品包括各類激光器、光電調(diào)制器、光學(xué)測(cè)量設(shè)備、精密光學(xué)元件等，所涉足的領(lǐng)域涵蓋了材料加工、光通訊、生物醫(yī)療、科學(xué)研究與國(guó)防等。
昊量光電堅(jiān)持“專業(yè)源自專注，專注成就未來”的經(jīng)營(yíng)理念。近年來，我們專注于前沿的細(xì)分市場(chǎng)，為量子光學(xué)、生物顯微、物聯(lián)傳感、精密加工、先進(jìn)激光制造等領(lǐng)域的客戶提供系統(tǒng)解決方案。
作為一家以技術(shù)溝通與技術(shù)服務(wù)見長(zhǎng)的高科技企業(yè)，我們所有的銷售與技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)成員都具有理工科方面的專業(yè)背景，并在公司接受相關(guān)領(lǐng)域的專業(yè)培訓(xùn)，在售前技術(shù)溝通、售后產(chǎn)品安裝培訓(xùn)、產(chǎn)品問題解決、軟硬件增值服務(wù)等方面為客戶提供更加專業(yè)化的服務(wù)！我們專業(yè)高效的商務(wù)與物流部門憑借多年積累的貿(mào)易經(jīng)驗(yàn)與規(guī)范化的制度流程，保障每一筆訂貨準(zhǔn)時(shí)安全到達(dá)目的地，免除客戶的后顧之憂！
秉承誠(chéng)信、高效、創(chuàng)新、共贏的核心價(jià)值觀，昊量光電堅(jiān)持以誠(chéng)信為基石，憑借高效的運(yùn)營(yíng)機(jī)制和勇于創(chuàng)新的探索精神為我們的客戶與與合作伙伴不斷創(chuàng)造價(jià)值，實(shí)現(xiàn)各方共贏！
立足于光電產(chǎn)業(yè)，昊量光電始終堅(jiān)持價(jià)值創(chuàng)造與創(chuàng)新，贏得客戶與合作伙伴的認(rèn)可，不斷拓展業(yè)務(wù)領(lǐng)域的新邊疆，立志打造的代理服務(wù)品牌！
激光器調(diào)制器,激光測(cè)量加工設(shè)備,光學(xué)部件,光譜儀,光纖器件,晶體,精密定位系統(tǒng)掃描系統(tǒng),探測(cè)器光子計(jì)數(shù)器,專用實(shí)驗(yàn)設(shè)備,相機(jī)
| 產(chǎn)地類別 | 國(guó)產(chǎn) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 綜合 |
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70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圓）
--- 適用于12英寸大型基板曝光
ALE/2 系列UV-LED曝光光源是一款大功率的曝光光源，高達(dá)70W的i線(365nm)曝光,高達(dá)80W的寬帶曝光（350-450nm）,適用于均勻度較高以及準(zhǔn)直性能高的大型基板曝光工具（比如12英寸，8英寸），目前已廣泛試用在掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng)，步進(jìn)系統(tǒng)(封裝）,準(zhǔn)直曝光系統(tǒng)及大功率輻射要求的固化系統(tǒng)，ALE/2系列UV-LED曝光光源已成為半導(dǎo)體光刻制造及檢測(cè)領(lǐng)域中的一個(gè)理想工具。
ALE/2系列UV-LED曝光光源是一款高性能紫外點(diǎn)光源，適用于需要均勻和準(zhǔn)直輻射的大型基材工業(yè)泛光曝光工具。這些可能是8″（200毫米）或12″（300毫米）掩模對(duì)準(zhǔn)器。它的紫外線輸出足夠強(qiáng)大，可以為更大的裝置提供動(dòng)力，正方形曝光面積可達(dá)400 X 400毫米，在某些情況下，甚至超過這個(gè)范圍。ALE/2采用UV-LED技術(shù)，具有優(yōu)異的輸出穩(wěn)定性和靈活的光譜控制，優(yōu)于傳統(tǒng)的高壓汞放電燈。此外，它還消耗更少的電力，產(chǎn)生更少的熱量，持續(xù)時(shí)間更長(zhǎng)，并且不需要太多的整體維護(hù)。
ALE/2系列UV-LED曝光光源可以在光路中組合四個(gè)反饋控制的高功率UV-LED?？商峁﹊線（CWL 365 nm）和寬帶（CWL 365 / 405 / 436 nm）配置。在純i線工藝中，ALE/2 系列UV-LED曝光光源的性能可媲美額定功率高達(dá)5,000 W的傳統(tǒng)放電汞燈光源。對(duì)于寬帶模式，ALE/2系列UV-LED曝光光源的照明功率也可與2,000 W放汞燈光源相媲美。
ALE/2系列UV-LED曝光光源遵循分布式設(shè)計(jì)方法，通常由一個(gè)控制子系統(tǒng)（CSS）+一個(gè)單獨(dú)的曝光子系統(tǒng)（ESS）組成。ESS 的標(biāo)準(zhǔn)光出口是一個(gè) 16 mm X 16 mm 的光管 ，光引擎可以與標(biāo)準(zhǔn)和定制的聚光光學(xué)元件結(jié)合使用，以實(shí)現(xiàn)高度均勻的曝光。
70W 大功率 紫外UV-LED曝光光源（ALE/2系列，12英寸晶圓）應(yīng)用場(chǎng)景：
| 半導(dǎo)體光刻制造（12英寸大基板） | 光固化應(yīng)用和其他 |
| 掩膜對(duì)準(zhǔn)系統(tǒng) | 大面積光固化（400mm） |
| 步進(jìn)系統(tǒng)（封裝） | 高輻射劑量固化應(yīng)用 |
| 準(zhǔn)直曝光系統(tǒng) | 紫外成像 |
| 晶圓光刻曝光 | |
| 晶圓缺陷檢測(cè) |
ALE/2系列- 70W大功率-UV-LED曝光光源主要特點(diǎn)：
內(nèi)置解決方案可實(shí)現(xiàn)更高曝光效率和性能；
高達(dá)70W的純i線曝光（365nm）;
高達(dá)80W的寬帶模式曝光（350-450nm）;
閉環(huán)光控制輸出；
無汞，綠色光源；
無需外部冷卻，更節(jié)能；
ALE/2系列 -70W大功率-UV-LED曝光光源性能展示：
ALE/2系列大功率UV-LED曝光光源規(guī)格參數(shù)：
| 發(fā)光單元選項(xiàng) | 多大4個(gè)波長(zhǎng)，如365nm, 385nm，405nm,435nm |
| 輸出功率 | up to 80W@寬帶， up to 70W@i線-365nm |
| 數(shù)值孔徑 | NA 0.3(2a ~35°) 配合標(biāo)準(zhǔn)聚光鏡 （condenser） |
| 控制配置 | 1、獨(dú)立的LED電源管理和預(yù)設(shè)； 2、高分辨率強(qiáng)度調(diào)整（10%-100%）； 3、LED上升時(shí)間<1ms； 4、持續(xù)監(jiān)控光輸出和反饋控制； |
| 通訊接口 | 1、離散PLC接口（TTL）； 2、USB(串行)； 3、以太網(wǎng)/MOdbuS TCP/IP （可選）； |
| 熱管理 | 1、帶內(nèi)部散熱器的液體冷卻（Standard mode）； 2、外部冷卻器（可選項(xiàng)），（performance mode ）; |
| 尺寸（W H D） | ESS 21 x 21 x 36cm ； CSS 44 x18 x 37cm ; |
| 重量 | ESS 4Kg ; CSS 10Kg ; |
| 電源輸入 | 110-240V/ 50-60Hz / 1500W |
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