單晶圓全自動清洗機

參考價	￥ 10000
訂貨量	≥1臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

公司名稱 蘇州芯矽電子科技有限公司
品牌 芯矽科技
型號
產(chǎn)地 蘇州市工業(yè)園區(qū)江浦路41號
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時間 2025/5/27 14:17:15
訪問次數(shù) 102

產(chǎn)品標簽

單晶圓清洗機單晶圓全自動清洗機半導(dǎo)體前道清洗設(shè)備全自動晶圓清洗機單晶圓清洗設(shè)備

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公司介紹 主營產(chǎn)品

芯矽科技是一家專注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司，主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機，單片清洗機，高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程，公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備，12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位，已經(jīng)成功取得長江存儲，中芯國際，重慶華潤，上海華虹，上海積塔，上海格科，廣東粵芯，青島芯恩，廈門士蘭，南通捷捷，湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單，我們致力于為合作伙伴提供適合你的解決方案。

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導(dǎo)體濕法設(shè)備

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單晶圓全自動清洗機是半導(dǎo)體制造中用于高精度清潔晶圓表面的關(guān)鍵設(shè)備，其核心功能是通過化學(xué)與物理結(jié)合的方式，去除顆粒、金屬殘留及氧化物，確保芯片性能與良率。以下是一段500字的產(chǎn)品簡介：

單晶圓全自動清洗機專為半導(dǎo)體制造工藝設(shè)計，采用單片逐片清洗模式，避免晶圓間交叉污染，適用于4英寸至12英寸晶圓處理。設(shè)備集成兆聲波清洗（MHz級高頻聲波）、高壓噴淋（壓力達3000PSI）、化學(xué)濕法腐蝕（如SC1、DHF配方）及二流體清洗技術(shù)，可高效剝離亞微米級顆粒、有機物和金屬雜質(zhì)，顆粒去除率≥97%（≥0.06μm）。

設(shè)備配備多槽式清洗單元，支持預(yù)洗、主洗、漂洗及干燥全流程，部分機型可選配12個以上工藝槽，滿足復(fù)雜制程需求。高速離心旋轉(zhuǎn)系統(tǒng)結(jié)合IPA蒸汽干燥或表面張力梯度干燥技術(shù)，確保晶圓表面無水痕殘留，兼容光刻、蝕刻等高精度工藝。溫控精度達±1℃，化學(xué)液在線監(jiān)測與自動補充系統(tǒng)減少耗材浪費，支持DF、SPM等藥液的精準配比。

智能化控制系統(tǒng)基于PLC與工業(yè)電腦，提供預(yù)設(shè)工藝模板（如RCA標準清洗）、實時參數(shù)監(jiān)控（電導(dǎo)率、pH值、顆粒計數(shù)）及數(shù)據(jù)追溯功能，可生成清洗日志并對接MES系統(tǒng)。模塊化設(shè)計允許靈活配置兆聲波、毛刷、HPC等功能，適應(yīng)不同工藝需求。設(shè)備兼容4-8寸、6-12寸晶圓尺寸切換，通過更換FOUP Adapter實現(xiàn)快速調(diào)整，提升產(chǎn)線效率。

典型應(yīng)用包括光刻膠去除、外延前清洗、CMP后處理及封裝TSV結(jié)構(gòu)清潔，滿足FinFET、GAA等節(jié)點對潔凈度的嚴苛要求。設(shè)備符合SEMI標準，腔體采用SUS304不銹鋼與PTFE涂層，搭配HEPA過濾系統(tǒng)，確保Class 10級以上潔凈環(huán)境。未來可升級AI驅(qū)動的參數(shù)優(yōu)化模塊，進一步提升清洗均勻性與環(huán)保性，助力半導(dǎo)體制造邁向原子級潔凈控制。