光刻投影模組

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱(chēng) 江蘇集萃中科先進(jìn)光電技術(shù)研究所有限公司
品牌 集萃中科光電
型號(hào)
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2025/5/28 9:58:10
訪問(wèn)次數(shù) 66

產(chǎn)品標(biāo)簽

光學(xué)儀器組件光刻投影模組光學(xué)實(shí)驗(yàn)設(shè)備

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公司介紹 主營(yíng)產(chǎn)品

江蘇集萃中科旨在光學(xué)組件、光學(xué)儀器、智能光電感知三大方向，開(kāi)展系列關(guān)鍵技術(shù)攻關(guān)與產(chǎn)業(yè)化實(shí)踐，目前已形成3D光學(xué)輪廓儀、白光干涉儀、反射膜厚儀、光致發(fā)光、無(wú)損檢測(cè)儀、光譜橢偏儀等標(biāo)準(zhǔn)化產(chǎn)品。公司服務(wù)涵蓋光學(xué)儀器的研發(fā)、生產(chǎn)及制造一站式服務(wù),同時(shí)為客戶(hù)提供基于智能光電感知的智慧工廠整體解決方案。

展開(kāi)

白光干涉儀、光學(xué)輪廓儀、粗糙度儀、光學(xué)膜厚儀、光譜橢偏儀等光學(xué)產(chǎn)品。

詳細(xì)信息 在線(xiàn)詢(xún)價(jià)

價(jià)格區(qū)間	面議	應(yīng)用領(lǐng)域	綜合
組件類(lèi)別	光學(xué)元件

光刻投影模組功能：

超低畸變?cè)O(shè)計(jì)

采用光學(xué)設(shè)計(jì)和高質(zhì)量非球面透鏡，確保成像邊緣和中心區(qū)域的一致性，畸變率低于 0.1%，滿(mǎn)足高精度光刻需求。

精準(zhǔn)控制倍率

支持高精度的倍率調(diào)節(jié)功能，倍率誤差控制在±0.01%以?xún)?nèi)，確保圖案轉(zhuǎn)移的精確性。

均勻照明系統(tǒng)

集成均勻化照明技術(shù)，確保曝光區(qū)域光強(qiáng)分布一致，提升光刻質(zhì)量。

多波長(zhǎng)兼容

支持紫外（UV）多種波長(zhǎng)光源，適應(yīng)不同光刻工藝需求。

光刻投影模組技術(shù)參數(shù)：

焦深 DOF	±300um ±300um
OPD	＜1/2λ@370-440nm
場(chǎng)曲	＜50μm
像散	＜50μm
全視場(chǎng)畸變	＜0.01% ＜0.02%
倍率色差	＜3μm
軸向色差	＜300μm
點(diǎn)陣 RMS	半徑＜3.5μm