X9106-MO23DB 日本MEG對(duì)齊單元

深圳納加霍里科技專業(yè)代理銷售日本MEG對(duì)齊單元X9106-MO23DB 產(chǎn)品特點(diǎn)如下：

日本MEG對(duì)齊單元X9106-MO23DB用于半導(dǎo)體設(shè)備、液晶面板制造、精密組裝線等需要亞微米級(jí)定位的場(chǎng)景，高精度對(duì)齊單元,專注于高精度工業(yè)自動(dòng)化組件，如對(duì)齊單元、傳感器和定位系統(tǒng).

可靈活應(yīng)對(duì)多品種工件的長(zhǎng)沖程和高速定位所需的長(zhǎng)壽命對(duì)準(zhǔn)單元，在半導(dǎo)體及電子零件行業(yè)中被用于工件定位，取得了很多實(shí)績(jī)。穩(wěn)定的定位性能以緊湊但長(zhǎng)行程重復(fù)精度高的凸輪為基礎(chǔ)，鉚釘采用無背襯機(jī)構(gòu)，緩沖器具有彈簧中央緩沖器功能，可穩(wěn)定定位050的身體內(nèi)收納4個(gè)無限軌道型線性導(dǎo)軌，并且到極限省略浪費(fèi)6mm的長(zhǎng)沖程成為可能。

適用于從微芯片到帶端子芯片的廣泛用途，無沖擊工作通過使用長(zhǎng)壽命凸輪曲線變形等速度曲線的凸輪和步進(jìn)電機(jī)的加減速控制，即使在高速情況下也能實(shí)現(xiàn)柔和的定位，無限軌道線性導(dǎo)軌的靈活操作和凸輪的簡(jiǎn)單機(jī)制確保了長(zhǎng)期的初始位置精度，α STEP馬達(dá)的追加外部驅(qū)動(dòng)采用實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制的α STEP DC電源類型。

因?yàn)槭怯貌竭M(jìn)馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，所以指甲的進(jìn)給量可以根據(jù)工件進(jìn)行設(shè)定，手指導(dǎo)軌采用預(yù)壓的線性導(dǎo)軌，實(shí)現(xiàn)了高的重復(fù)精度，可以利用馬達(dá)后部的旋轉(zhuǎn)軸安裝原點(diǎn)傳感器和限位傳感器，也可以方便地作為機(jī)械調(diào)整時(shí)的手動(dòng)手柄使用，帶馬達(dá)的型號(hào)有2相馬達(dá)和α STEP馬達(dá)兩種可選，相馬達(dá)已更新，可以設(shè)置高分辨率。

核心功能

1.精密定位：

通過內(nèi)置高分辨率傳感器（如激光或光學(xué)編碼器）實(shí)現(xiàn)微米級(jí)（μm）或納米級(jí)（nm）的位置對(duì)齊。

適用于晶圓、面板、精密零件的對(duì)準(zhǔn)與校正。

2.多軸控制：

支持X/Y/Z軸或θ（旋轉(zhuǎn)軸）的多自由度調(diào)整，集成運(yùn)動(dòng)控制算法。

3.自動(dòng)化集成：

兼容PLC、工業(yè)機(jī)器人或上位機(jī)系統(tǒng)，支持標(biāo)準(zhǔn)通信協(xié)議（如EtherCAT、RS-485等）。

典型應(yīng)用場(chǎng)景

半導(dǎo)體封裝：晶圓與掩模版的對(duì)齊。

FPD制造：液晶面板的精準(zhǔn)貼合。

精密檢測(cè)：配合顯微鏡或CCD進(jìn)行自動(dòng)對(duì)焦定位。

優(yōu)勢(shì)

高剛性設(shè)計(jì)：減少振動(dòng)帶來的誤差。

快速響應(yīng)：優(yōu)化算法提升對(duì)齊速度。

模塊化：可擴(kuò)展為多單元協(xié)同工作。

技術(shù)參數(shù)

精度：±0.1 μm 或更高

重復(fù)定位精度：±0.05 μm

負(fù)載能力：1-5 kg（依賴機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)）

傳感器類型：光學(xué)編碼器/激光干涉儀

環(huán)境適應(yīng)性：防塵、防振動(dòng)設(shè)計(jì)，適合潔凈室使用。

規(guī)格

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