cmvac ICP等離子刻蝕機(jī) 干法刻蝕設(shè)備

參考價(jià)	￥ 400000
訂貨量	≥1臺(tái)

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

公司名稱 成都超邁光電科技有限公司
品牌 其他品牌
型號(hào) cmvac
產(chǎn)地
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時(shí)間 2025/6/19 14:30:11
訪問次數(shù) 54

產(chǎn)品標(biāo)簽

刻蝕機(jī)干法刻蝕刻蝕設(shè)備廠家蝕刻設(shè)備刻蝕機(jī)工廠

在線交流發(fā)送詢價(jià) 查看電話同類產(chǎn)品

聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息，謝謝!

索取相關(guān)資料

公司介紹 主營產(chǎn)品

成都超邁光電科技有限公司，國家標(biāo)準(zhǔn)擬定單位、創(chuàng)新型中小企業(yè)、省專精特新企業(yè)、新經(jīng)濟(jì)雙百企業(yè)，已通過GB/T與GJB雙體系認(rèn)證。

公司致力于真空鍍膜、等離子刻蝕、人工晶體材料和特殊裝備的技術(shù)提升，具有全系列涂層服務(wù)裝備和檢測(cè)手段，已申請(qǐng)國家60余項(xiàng)與軟件著作權(quán)50余項(xiàng)，擬定國家標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)，為中國物理學(xué)會(huì)固體缺陷專家委員單位，全國電熱裝備標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)單位，已形成工業(yè)級(jí)、科研級(jí)和特殊級(jí)三大產(chǎn)品系列，公司在南充高新區(qū)(順慶高新區(qū))建有超邁智能產(chǎn)業(yè)園，一期已完成3.5萬平方米廠房和配套辦公生活設(shè)施建設(shè)，具備強(qiáng)大的研發(fā)和制造能力。

展開

真空鍍膜、等離子刻蝕、真空爐，人工晶體材料和特殊裝備

詳細(xì)信息 在線詢價(jià)

反應(yīng)離子刻蝕機(jī)主要用于介質(zhì)薄膜干法刻蝕，包括SiO2、Si3N4、SiON、SiC等。

產(chǎn)品詳情：

1.氣體種類：O2、CF4、CHF3、SF6、BCl3等

2.基片尺寸：zui大支持8英寸，并向下兼容6、5、4、3、2英寸等以及破片

3.射頻電源 ICP電源：13.56MHz，1400W; 偏壓電源：13.56MHz，800W

4.工藝溫度：10℃到80℃可控

5.傳送模式：自動(dòng)Loadlock傳送系統(tǒng)

成都超邁光電科技有限公司，為國家標(biāo)準(zhǔn)擬定單位、創(chuàng)新型中小企業(yè)、省專精特新企業(yè)、新經(jīng)濟(jì)雙百企業(yè)，已通過GB/T與GJB雙體系認(rèn)證。

超邁光電公司致力于真空鍍膜、等離子刻蝕、人工晶體材料和特殊裝備的技術(shù)提升，具有全系列涂層服務(wù)裝備和檢測(cè)手段，已申請(qǐng)國家zhuanli60余項(xiàng)，軟件著作權(quán)50余項(xiàng)，擬定國家標(biāo)準(zhǔn)2項(xiàng)，行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)1項(xiàng)，為中國物理學(xué)會(huì)固體缺陷專家委員單位，全國電熱裝備標(biāo)準(zhǔn)化委員會(huì)單位，已形成工業(yè)級(jí)、科研級(jí)和特殊級(jí)三大產(chǎn)品系列，公司在南充高新區(qū)(順慶高新區(qū))建有超邁智能產(chǎn)業(yè)園，一期已完成3.5萬平方米廠房和配套辦公生活設(shè)施建設(shè)，具備強(qiáng)大的研發(fā)和制造能力。