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Semi-KLEEN Quartz石英等離子體清洗機(jī)

參考價(jià) 100000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)

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FIRSTNANO成立于2012年,一家由三位材料學(xué)博士共同創(chuàng)辦的德國(guó)公司?;?/span> Science is international”的想法,“全球協(xié)同實(shí)驗(yàn)室”成為三位博士追逐的夢(mèng)想。

公司愿景是從科學(xué)家到科學(xué)家,科學(xué)開(kāi)創(chuàng)美好未來(lái)。

FIRSTNANO深耕于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域,始終秉承“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨,將前沿技術(shù)引進(jìn)到協(xié)同實(shí)驗(yàn)室。我們的產(chǎn)品覆蓋了微納加工制程;材料科學(xué)的檢測(cè)、分析;生命科學(xué)成像,腦科學(xué)與行為認(rèn)知等相關(guān)領(lǐng)域。作為全球科技前沿的儀器供應(yīng)商,FIRSTNANO具有全球技術(shù)視野、優(yōu)質(zhì)供應(yīng)體系、以及嚴(yán)格的質(zhì)量管控系統(tǒng),能為客戶提供前沿的技術(shù)解決方案。

公司服務(wù)的客戶領(lǐng)域廣泛,其中包括消費(fèi)電子、航空、航天、醫(yī)藥技術(shù)、半導(dǎo)體行業(yè)、光電子行業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)。

在成長(zhǎng)的過(guò)程中,我們腳踏實(shí)地、奮勇向前。自2015年香港(中華區(qū))公司成立以來(lái),我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

我們真誠(chéng)邀請(qǐng)業(yè)內(nèi)英才加入FIRSTNANO TEAM,一起為夢(mèng)想揚(yáng)帆起航!

 

 

 

 

 

半導(dǎo)體儀器和電子產(chǎn)品耗材耗材


Semi-KLEEN Quartz石英等離子體清洗機(jī)旨在滿足半導(dǎo)體行業(yè)的堅(jiān)韌要求。它可用于電子束復(fù)查系統(tǒng)(EBR)、電子束檢測(cè)系統(tǒng)(EBI)、CD-SEM、電子束光刻系統(tǒng)、EUV 光刻(EUVL)和 EUV 掩模檢測(cè)器。除了 EM-KLEEN 原位等離子體清洗機(jī)的所有標(biāo)準(zhǔn)硬件功能,如壓力傳感器、自動(dòng)氣流控制器、等離子體強(qiáng)度傳感器、溫度傳感器、冷卻風(fēng)扇和 LCD 觸摸屏控制器,SEMI-KLEEN 下游等離子體清洗機(jī)還集成了半導(dǎo)體行業(yè)最新的等離子體源設(shè)計(jì)技術(shù),以降低顆粒產(chǎn)生的風(fēng)險(xiǎn)。SEMI-KLEEN 等離子清潔器的低顆粒設(shè)計(jì)已獲得半導(dǎo)體資本設(shè)備制造商的認(rèn)可,其性能比競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手高出多個(gè)數(shù)量級(jí)。標(biāo)準(zhǔn)的 SEMI-KLEEN 等離子清潔器使用帶外部天線的高純度石英管。 它可以用來(lái)在低壓下產(chǎn)生空氣、O2、Ar+O2、H2 和 Ar+H2 等離子體。專有的天線設(shè)計(jì)降低了等離子體電位,從而減少了源室上的離子濺射。此外,腔室材料經(jīng)過(guò)精心挑選,以承受等離子體蝕刻。結(jié)合專有的雙級(jí)顆粒過(guò)濾技術(shù),SEMI-KLEEN 等離子清潔器可以滿足英特爾、三星和臺(tái)積電等客戶的 PWP 要求。

Semi-KLEEN Quartz石英等離子體清洗機(jī)是全自動(dòng)的。它支持可定制的配方,無(wú)需任何手動(dòng)調(diào)整,射頻功率和氣體流速(工作壓力)都很高。在寬范圍的工作壓力下(從低于 10 -4 Torr 到高于 2 Torr),可實(shí)現(xiàn)瞬間等離子體點(diǎn)火。由于 SEMI-KLEEN 不需要任何手動(dòng)調(diào)整,并具有多個(gè)傳感器(等離子傳感器,壓力傳感器和溫度傳感器),可實(shí)時(shí)監(jiān)控其狀態(tài),因此它是集成到系統(tǒng)控制軟件中的等離子清潔器。

Semi-KLEEN Quartz石英等離子體清洗機(jī)

功能列表

  • 全自動(dòng)和即時(shí)等離子點(diǎn)火在非常寬的工作壓力范圍。等離子點(diǎn)火無(wú)需手動(dòng)射頻阻抗匹配。

  • 雙級(jí)顆粒過(guò)濾技術(shù),幾乎可以去除所有大于 3 nm 的顆粒。

  • 用于半導(dǎo)體工業(yè)的低顆粒高可靠性等離子體源設(shè)計(jì)技術(shù)。

  • 帶壓力傳感器反饋控制的電子氣體流量控制。用戶可直接指定不同的氣源工作壓力。等離子清洗機(jī)將自動(dòng)調(diào)節(jié)氣體流量,以達(dá)到配方規(guī)定的工作壓力。

  • 等離子體探頭監(jiān)測(cè)等離子體強(qiáng)度,以指導(dǎo)用戶設(shè)置優(yōu)良配方。優(yōu)良?xì)怏w流量可以隨著不同的系統(tǒng)泵送速度和腔室尺寸而變化。我們的等離子體清潔器讓用戶可以自由地通過(guò)配方改變氣流,并根據(jù)等離子體強(qiáng)度探頭的反饋優(yōu)化源壓力。

  • 帶觸摸屏用戶界面的嵌入式微電腦控制器。

  • 通過(guò) RS232/RS485 協(xié)議的直觀遠(yuǎn)程 PC 控制用戶界面。

  • 微型計(jì)算機(jī)上可定制的 SmartSchedule 功能可以自主地照顧您的系統(tǒng)。

  • 支持 60 種可定制食譜。

  • 主動(dòng)式風(fēng)扇冷卻,實(shí)現(xiàn)高功率高速清潔。

  • 超溫聯(lián)鎖保護(hù)。




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