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Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)

參考價	￥ 100000
訂貨量	≥1件

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公司名稱 德國韋氏納米系統(tǒng)有限公司
品牌
型號
產(chǎn)地美國
廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
更新時間 2025/6/25 13:00:47
訪問次數(shù) 85

產(chǎn)品標(biāo)簽

等離子清洗光刻膠灰化硅晶片清洗 pie scientific Tergeo

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FIRSTNANO成立于2012年，一家由三位材料學(xué)博士共同創(chuàng)辦的德國公司?；?/span> “Science is international”的想法，“全球協(xié)同實驗室”成為三位博士追逐的夢想。

公司愿景是從科學(xué)家到科學(xué)家，科學(xué)開創(chuàng)美好未來。

FIRSTNANO深耕于半導(dǎo)體技術(shù)、材料科學(xué)、生命科學(xué)等科研領(lǐng)域，始終秉承“前沿、專業(yè)、科學(xué)”的宗旨，將前沿技術(shù)引進(jìn)到協(xié)同實驗室。我們的產(chǎn)品覆蓋了微納加工制程；材料科學(xué)的檢測、分析；生命科學(xué)成像，腦科學(xué)與行為認(rèn)知等相關(guān)領(lǐng)域。作為全球科技前沿的儀器供應(yīng)商，FIRSTNANO具有全球技術(shù)視野、優(yōu)質(zhì)供應(yīng)體系、以及嚴(yán)格的質(zhì)量管控系統(tǒng)，能為客戶提供前沿的技術(shù)解決方案。

公司服務(wù)的客戶領(lǐng)域廣泛，其中包括消費(fèi)電子、航空、航天、醫(yī)藥技術(shù)、半導(dǎo)體行業(yè)、光電子行業(yè)、高校和研究機(jī)構(gòu)。

在成長的過程中，我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港（中華區(qū)）公司成立以來，我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

我們真誠邀請業(yè)內(nèi)英才加入FIRSTNANO TEAM，一起為夢想揚(yáng)帆起航！

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Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)產(chǎn)品簡介

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)設(shè)計用于支持侵蝕性和腐蝕性工藝氣體。等離子室已被更耐化學(xué)腐蝕的藍(lán)寶石管所取代。真空密封設(shè)計和腔室材料的選擇已被優(yōu)化，以支持等離子體內(nèi)部的腐蝕性自由基。對于需要對石英腔室進(jìn)行等離子體蝕刻的應(yīng)用，SEMI-KLEEN 藍(lán)寶石是比傳統(tǒng)石英腔室等離子體源更好的選擇。

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)產(chǎn)品應(yīng)用

Semi-KLEEN Sapphire藍(lán)寶石等離子體清洗機(jī)已被用于存款薄膜，在原子層沉積系統(tǒng)中薄膜沉積之前清潔樣品表面，以及從金屬表面清潔碳和氧污染物?？蛻舻臏y試結(jié)果表明，SEMI-KLEEN 等離子體源僅需 2 秒的氫等離子體就可以去除 InGaAs 樣品中的碳和氧污染物。SEMI-KLEEN 藍(lán)寶石等離子體源可用于僅由渦輪泵或粗抽泵泵送的下游腔室。它可以在<0.5mTorr 到 2 Torr 以上的壓力范圍內(nèi)工作。

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在成長的過程中，我們腳踏實地、奮勇向前。自2015年香港（中華區(qū)）公司成立以來，我們一相繼在香港、深圳、上海和武漢設(shè)立了分支機(jī)構(gòu)。

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