Gas Mixers氣體混配器
參考價(jià) | ¥ 100000 |
訂貨量 | ≥1件 |
- 公司名稱(chēng) 德國(guó)韋氏納米系統(tǒng)有限公司
- 品牌
- 型號(hào)
- 產(chǎn)地 美國(guó)
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時(shí)間 2025/6/24 15:53:07
- 訪問(wèn)次數(shù) 193
聯(lián)系方式:劉先生18721247059 查看聯(lián)系方式
聯(lián)系我們時(shí)請(qǐng)說(shuō)明是化工儀器網(wǎng)上看到的信息,謝謝!
Gas Mixers氣體混配器是用于 SEMI-KLEEN 和 EM-KLEEN 系列遠(yuǎn)程等離子源的氣體混配器
關(guān)于Gas Mixers氣體混配器
SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 系列遠(yuǎn)程等離子源只能接受一個(gè)氣體輸入。對(duì)于某些研究項(xiàng)目,用戶(hù)可能需要為 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠(yuǎn)程等離子體源混合多種工藝氣體。此處列出的三端口氣體混配器集成了多達(dá)三個(gè)質(zhì)量流量受控氣體輸入端口、一個(gè)排氣/旁路泵端口和一個(gè)混合氣體輸出端口。氣體輸出端口應(yīng)連接到 SEMI-KLEEN 或 EM-KLEEN 遠(yuǎn)程等離子清洗機(jī)上的氣體輸入端口。如果需要高純度氣體輸送,排氣/旁通泵出口提供高電導(dǎo)泵送途徑,以排空氣體管。
特征:
觸摸屏用戶(hù)界面
多達(dá) 3 個(gè)質(zhì)量流量受控的氣體輸入端口
用于通風(fēng)室和高速抽氣管的排氣/旁路端口。
不同氣體種類(lèi)的流速補(bǔ)償
集成計(jì)時(shí)器
110~230V 通用交流電源輸入。