FluxDancer 晶體管遷移率測試系統(tǒng)
- 公司名稱 東譜科技（廣州）有限責(zé)任公司
- 品牌 東譜
- 型號 FluxDancer
- 產(chǎn)地 中國
- 廠商性質(zhì) 生產(chǎn)廠家
- 更新時間 2025/6/30 17:47:20
- 訪問次數(shù) 37
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產(chǎn)品關(guān)鍵詞：轉(zhuǎn)移特性測試.輸出特性測試,遷移率測試,線性區(qū)遷移率提取,飽和區(qū)遷移率提取,遷移率的霍爾測量,晶體管輸運特性測試,變溫遷移率測試系統(tǒng),顯微系統(tǒng)耦合
產(chǎn)品特點
1. 半導(dǎo)體參數(shù)分析儀驅(qū)動的遷移率測試
基于 高精度直流源測量單元（SMU），通過 場效應(yīng)晶體管（FET）傳輸特性擬合、空間電荷限制電流（SCLC）模型 等方法，精準提取 載流子遷移率（單位：）。半導(dǎo)體參數(shù)分析儀具備 fA 級電流分辨率 與 mV 級電壓精度，支持 寬量程掃描（nA~mA 電流、0~100V 電壓），適配 MOSFET、薄膜晶體管（TFT）、半導(dǎo)體薄膜 等器件測試，同步解析 閾值電壓、亞閾值擺幅、接觸電阻 等關(guān)鍵電學(xué)參數(shù)，為 電荷輸運機制（如彈道輸運、散射效應(yīng)） 提供定量分析依據(jù)。
2. 變溫遷移率測試系統(tǒng)
集成 閉環(huán)溫控模塊（溫度范圍覆蓋 -196℃（液氮制冷）~300℃（加熱臺），控溫精度 ±0.1℃），與半導(dǎo)體參數(shù)分析儀聯(lián)動，實現(xiàn) “溫度 - 電學(xué)” 同步采集。通過變溫測試：
解析 載流子散射機制（如高溫下聲子散射增強導(dǎo)致遷移率衰減，低溫下雜質(zhì)散射主導(dǎo)的輸運行為）；
定位 器件熱穩(wěn)定性瓶頸（如功率器件高溫遷移率退化、柔性電子低溫性能衰減）；
適配 高溫電子學(xué)、柔性器件、寬禁帶半導(dǎo)體（如 GaN） 等領(lǐng)域的可靠性研究。
3. 顯微系統(tǒng)耦合技術(shù)
支持與 光學(xué)顯微鏡（明場 / 暗場 / 熒光，微米級分辨率）、掃描探針顯微鏡（SPM，納米級分辨率）、激光共聚焦顯微鏡 深度耦合：
通過 顯微定位系統(tǒng)（亞微米精度），鎖定 微區(qū)目標（如器件溝道、異質(zhì)結(jié)界面、缺陷位點） 開展遷移率測試；
同步獲取 “形貌 - 電學(xué)” 關(guān)聯(lián)數(shù)據(jù)（如觀察鈣鈦礦晶粒邊界時，測試該區(qū)域載流子輸運特性），突破傳統(tǒng)宏觀測試的 “空間均勻性假設(shè)”，揭示 微觀結(jié)構(gòu)（如晶粒尺寸、界面態(tài)）對遷移率的影響規(guī)律，助力 缺陷工程、異質(zhì)結(jié)優(yōu)化 等研究。
4. 光場耦合測試能力
集成 寬光譜光場模塊（波長覆蓋 紫外（200nm）~ 近紅外（1700nm），支持連續(xù)光 / 納秒脈沖光調(diào)控，光強范圍，實現(xiàn) 光激發(fā)下的遷移率測試：
采用 光電導(dǎo)法、光電流法，分析 光生載流子的產(chǎn)生、輸運、復(fù)合動力學(xué)（如光電器件中遷移率隨光強的變化規(guī)律）；
支持 “柵壓 + 光強” 雙變量掃描，解析 光 - 電協(xié)同調(diào)控機制（如鈣鈦礦光伏器件中光生載流子的遷移率優(yōu)化）；
適配 光敏材料（量子點、有機半導(dǎo)體）、光探測器、光伏電池 等光電器件的 光響應(yīng)特性與機理研究。
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