Miracle Inspection 晶圓檢測顯微鏡

在半導體制造與顯示面板等精密工業(yè)領域，對晶圓級樣品進行高效、精準的檢測至關重要。Miracle Inspection系列晶圓檢測顯微鏡，該系列專為8/12英寸晶圓設計，深度融合了蔡司光學技術與創(chuàng)新的模塊化理念，更集成了激光缺陷標記功能，旨在為您的品質管控帶來革命性的提升。

Miracle Inspection系列晶圓檢測顯微鏡基于蔡司的光學基礎，采用了高度靈活的模塊化設計。其核心在于電動位移臺與各個功能模塊的精密協(xié)同。這種設計不僅實現(xiàn)了晶圓級樣品的自動化上下料，極大地提升了工作效率，更能在多個維度上對樣品進行精細的加工選擇與全面的自動檢測。無論是復雜表面的微觀形貌，還是潛在缺陷的蛛絲馬跡，它都能高質量地捕捉并分析，精準滿足客戶的嚴苛需求。檢測流程結束后，系統(tǒng)支持一鍵式自動生成詳盡的測試報告，確保了整個工作流程的高度一致性與可追溯性，為質量管控提供了堅實的數(shù)據(jù)支撐。

為了確保檢測的全面性與便捷性，Miracle Inspection系列顯微鏡提供了豐富的功能模塊供您選擇：

精準定位：XY運動平臺

提供8英寸晶圓適用的XY手動/電動運動臺模組，定位精度高達≤2 μm，行程達205 mm * 205 mm。離合器手柄設計，兼顧了快速手動移動與精密電動定位的需求。

微米級聚焦：Z軸運動平臺

Z軸平臺同時配備電傳手輪和精密碼盤，微調精度可達≤1 μm，行程≥36 mm，確保在垂直方向上的精確對焦。

成像：物鏡模組

采用蔡司原裝的手動/電動物鏡切換裝置，可選配EpiPlan消色差物鏡、EPN半復消色差物鏡以及EPA復消色差物鏡，滿足不同分辨率與景深的需求。

靈活照明：光源模組

提供可選的5W或10W LED透射式光源，穩(wěn)定可靠，壽命長，為樣品提供均勻充足的照明。

兼容性強：晶圓放置模組

兼容多尺寸晶圓的載物臺（支持4英寸、6英寸及8英寸晶圓片），且保留透射光路。載物臺可拆卸設計，進一步擴展了其應用于液晶面板等其它樣品檢測的可能性。

多視角觀察：成像觀察模組

可適配蔡司Axiocam系列相機及海康威視系列相機?？蛇x配蔡司目鏡。提供基礎的明場/暗場觀察方式，并可選配微分干涉、熒光和偏光等高級觀察功能，呈現(xiàn)樣品細節(jié)。

人機交互：遠程控制手柄

集成物鏡切換、照明光強（支持隨物鏡/觀察方式自動調節(jié)）、反射/透射照明切換、電傳Z軸聚焦、XY運動遙感、缺陷標記及主動對焦快速確定等多種功能按鈕，操作便捷高效。

實時清晰：主動對焦模組（可選）

可選配主動對焦模組，即使在50×高倍物鏡下，也能實現(xiàn)被觀察區(qū)域的實時自動對焦，確保圖像始終清晰銳利。

缺陷可視化：缺陷標記模組（可選）

可選配缺陷標記模組，能夠實時對樣品上的缺陷部位進行激光標記，直觀醒目，便于后續(xù)分析處理。

自動化流程：晶圓搬運模組（可選）

可選配晶圓搬運模組，輕松實現(xiàn)晶圓片的自動上下料，將檢測流程推向更高水平的自動化。

Miracle Inspection系列搭載激光缺陷標記的8/12英寸晶圓級檢測顯微鏡，憑借其蔡司光學品質、模塊化靈活性、自動化操作以及全面的檢測能力，是您在晶圓檢測領域值得信賴的伙伴。它不僅能高質量地完成檢測任務，更能通過智能化的報告生成與流程追溯，助您輕松應對嚴苛的質量挑戰(zhàn)。