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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>常用儀表>光學(xué)儀表>干涉儀>S neox 西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹

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S neox 西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹

參考價(jià) 800000
訂貨量 ≥1
具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱 北京儀光科技有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào) S neox
  • 產(chǎn)地 西班牙
  • 廠商性質(zhì) 代理商
  • 更新時(shí)間 2025/7/15 13:49:13
  • 訪問次數(shù) 64

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  北京儀光科技,專注顯微形貌分析!
  北京儀光科技有限公司是一家專門從事三維共聚焦白光干涉輪廓儀、臺(tái)式掃描電鏡/臺(tái)階儀/電鏡原位分析、各進(jìn)口及國產(chǎn)品牌的金相顯微鏡、體式顯微鏡、偏光顯微鏡、超景深顯微鏡、大型掃描電子顯微鏡、超薄切片機(jī)、清潔度分析儀、金相及巖相制樣設(shè)備、顯微相機(jī)、冷熱臺(tái)、陰極發(fā)光臺(tái)、光學(xué)平臺(tái)等各類型科研分析儀器。提供制樣、顯微觀察、三維形貌分析和特殊應(yīng)用檢測(cè)等全套分析檢測(cè)解決方案。
  我司代理西班牙Sensofar三維共聚焦白光干涉儀、德國徠卡等進(jìn)口及國產(chǎn)各類型光學(xué)顯微鏡、安徽澤攸臺(tái)式掃描電鏡&臺(tái)階儀&電鏡原位分析、美國RMC超薄切片機(jī)/半薄切片機(jī)、德國蔡司大型掃描電鏡、丹麥司特爾金相制樣、英國Linkam冷熱臺(tái)、陰極發(fā)光臺(tái)、防震平臺(tái)等材料制備及微觀分析儀器。我們的客戶涵蓋高校、科研院所、農(nóng)林、醫(yī)療、石油石化、地質(zhì)、文博、船舶、汽車、工業(yè)材料、電子半導(dǎo)體、電力、能源、檢測(cè)分析等各個(gè)行業(yè)。我們致力于以開放的視野、專業(yè)的技術(shù)、優(yōu)質(zhì)的服務(wù)為科研和工業(yè)等用戶提供專業(yè)、全面的顯微形貌分析應(yīng)用解決方案。
  愿景:讓科學(xué)研究和技術(shù)創(chuàng)新更便捷、更高效!
  使命:為材料用戶提供準(zhǔn)確、可靠、全面的毫米級(jí)到納米級(jí)樣品制備及微觀形貌分析解決方案!

 

西班牙Sensofar共聚焦白光干涉儀、澤攸臺(tái)式電鏡&臺(tái)階儀&原位分析、徠卡等光學(xué)顯微鏡、RMC超薄切片機(jī)、Linkam冷熱臺(tái)

產(chǎn)地類別 國產(chǎn) 應(yīng)用領(lǐng)域 石油,能源,電子/電池,鋼鐵/金屬,綜合

西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹

西班牙Sensofar公司推出的S neox是一款高精度的三維共聚焦白光干涉儀,廣泛應(yīng)用于表面形貌測(cè)量領(lǐng)域。該設(shè)備集成了多種*的測(cè)量技術(shù),包括白光干涉模式、相位差干涉模式、共聚焦模式和多焦面疊加模式,能夠滿足不同材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和波度的測(cè)量需求。

一、白光干涉模式(VSI)

白光干涉模式(Vertical Scanning Interferometry, VSI)是一種基于白光干涉原理的測(cè)量技術(shù),適用于光滑表面或適度粗糙表面的高度測(cè)量。其工作原理是通過將樣品表面與參考鏡面之間的光程差轉(zhuǎn)換為干涉條紋的對(duì)比度變化,從而獲取表面高度信息

。在VSI模式下,S neox能夠提供納米級(jí)的縱向分辨率,且在任何放大倍數(shù)下都能保持這一精度。此外,VSI模式的測(cè)量范圍理論上是無限的,但在實(shí)際應(yīng)用中受限于物鏡的工作距離

。該模式特別適用于需要高精度測(cè)量的場(chǎng)合,如半導(dǎo)體制造、光學(xué)元件加工等

西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹

二、相位差干涉模式(PSI)

相位差干涉模式(Phase Shift Interferometry, PSI)是一種亞納米級(jí)精度的測(cè)量技術(shù),主要用于測(cè)量非常光滑和連續(xù)的表面高度。PSI的工作原理是通過引入已知的相位差,使樣品表面的光程差發(fā)生變化,從而形成干涉條紋。通過分析這些干涉條紋的變化,可以精確地計(jì)算出樣品表面的高度信息

。PSI模式的優(yōu)勢(shì)在于其在任何放大倍數(shù)下都能提供亞納米級(jí)的縱向分辨率,即使使用2.5倍的鏡頭也能實(shí)現(xiàn)大視場(chǎng)范圍內(nèi)的高精度測(cè)量。此外,PSI模式還能夠測(cè)量具有較大斜率的表面,如70°的光滑表面

。這種模式特別適用于需要精度的表面測(cè)量,如精密光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓等

西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹


三、共聚焦模式

共聚焦模式是一種基于共聚焦原理的測(cè)量技術(shù),能夠提供高橫向分辨率的表面形貌測(cè)量。共聚焦技術(shù)通過將樣品表面的光束聚焦到一個(gè)點(diǎn),并通過檢測(cè)反射光的強(qiáng)度來確定表面高度

。S neox的共聚焦模式具有高達(dá)0.10um的橫向分辨率,適用于臨界尺寸測(cè)量,Z軸測(cè)量重復(fù)性在納米級(jí)別。該模式特別適用于測(cè)量高斜率表面,如70°的光滑表面

。此外,共聚焦模式還能夠提供真彩色圖像,使用戶能夠直觀地觀察樣品的表面細(xì)節(jié)。

四、多焦面疊加模式

多焦面疊加模式(Multi-Focus Superposition, MFSP)是一種用于測(cè)量非常粗糙表面的*技術(shù)。該模式通過在不同焦距下采集多個(gè)圖像,并將這些圖像疊加起來,以獲得更全面的表面形貌信息

。MFSP模式的優(yōu)勢(shì)在于其快速掃描能力和大掃描范圍,能夠快速測(cè)量大面積的表面形貌

。此外,該模式還支持高達(dá)86°的斜率測(cè)量,適用于工件和模具的測(cè)量

。MFSP模式特別適用于需要快速測(cè)量大面積表面的場(chǎng)合,如汽車零部件、建筑石材等

西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹

五、干涉原理

干涉原理是S neox的核心技術(shù)之一,它通過將樣品表面的光程差與參考鏡面的光程差進(jìn)行比較,從而獲取表面高度信息。干涉儀中,光束穿過分光鏡,分別照射到樣品表面和一個(gè)內(nèi)置的參考鏡片,兩路光線反射后形成干涉條紋

。通過分析這些干涉條紋的變化,可以精確地計(jì)算出樣品表面的高度信息。干涉技術(shù)的優(yōu)勢(shì)在于其高精度和高分辨率,能夠?qū)崿F(xiàn)亞納米級(jí)的縱向分辨率

。此外,干涉技術(shù)還能夠測(cè)量各種表面的微幾何和納米幾何結(jié)構(gòu),適用于從極粗糙到高反射表面的測(cè)量。

六、八部位移法

八部位移法(Eight-Step Phase Shifting)是一種用于提高干涉測(cè)量精度的技術(shù)。該方法通過引入八個(gè)不同的相位差,使樣品表面的光程差發(fā)生變化,從而形成干涉條紋。通過分析這些干涉條紋的變化,可以更精確地計(jì)算出樣品表面的高度信息。八部位移法的優(yōu)勢(shì)在于其能夠有效減少測(cè)量誤差,提高測(cè)量精度。該方法特別適用于需要高精度測(cè)量的場(chǎng)合,如精密光學(xué)元件、半導(dǎo)體晶圓等

西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹


七、總結(jié)

西班牙Sensofar S neox是一款集成了多種*測(cè)量技術(shù)的高精度三維共聚焦白光干涉儀。它通過白光干涉模式、相位差干涉模式、共聚焦模式和多焦面疊加模式,能夠滿足不同材質(zhì)、結(jié)構(gòu)、表面粗糙度和波度的測(cè)量需求。S neox的干涉原理基于光程差的測(cè)量,能夠提供亞納米級(jí)的縱向分辨率,適用于各種表面的高精度測(cè)量。此外,S neox還采用了八部位移法,進(jìn)一步提高了測(cè)量精度。該設(shè)備廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、生物醫(yī)藥、能源等領(lǐng)域,是現(xiàn)代精密測(cè)量技術(shù)的重要工具

西班牙Sensofar相位差干涉模式介紹




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