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化工儀器網(wǎng)>產(chǎn)品展廳>化工機(jī)械設(shè)備>泵閥類(lèi)>其它泵閥設(shè)備> 瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

具體成交價(jià)以合同協(xié)議為準(zhǔn)
  • 公司名稱(chēng) 上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司
  • 品牌 其他品牌
  • 型號(hào)
  • 產(chǎn)地
  • 廠(chǎng)商性質(zhì) 經(jīng)銷(xiāo)商
  • 更新時(shí)間 2025/7/17 12:06:50
  • 訪(fǎng)問(wèn)次數(shù) 84

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上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司2018年成立,現(xiàn)在整個(gè)市場(chǎng)有一批受眾用戶(hù),因業(yè)務(wù)發(fā)展需要,所有的產(chǎn)品均從境外采購(gòu)進(jìn)貨,您可以避免國(guó)內(nèi)合作商、辦事處和經(jīng)銷(xiāo)商的分級(jí)合作商,層層盤(pán)剝的模式,享受到價(jià)格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購(gòu)服務(wù)。

對(duì)于一些德國(guó)產(chǎn)品,我們通過(guò)集中批量采購(gòu)以獲取廠(chǎng)商較大折扣,可以提供比國(guó)內(nèi)市場(chǎng)價(jià)格更低的報(bào)價(jià)。

能夠提供不同國(guó)別、廠(chǎng)商的設(shè)備配件,解決您多處尋找的麻煩和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的擔(dān)心等,在價(jià)格上我們有很大的優(yōu)勢(shì),公司備有大量的現(xiàn)貨,是國(guó)內(nèi)庫(kù)存量Z多的公司之一,以更專(zhuān)業(yè)的服務(wù),把咨詢(xún),銷(xiāo)售,售后服務(wù)一整套體系做的更完善,讓客戶(hù)能夠更放心的購(gòu)買(mǎi)我們的產(chǎn)品,對(duì)我們的服務(wù)有更滿(mǎn)意的評(píng)價(jià)!

我們客戶(hù)遍及石化、化工、化纖、鋼鐵、食品、飲料、航空.制藥、采礦、電力、供水及環(huán)保等行業(yè)。

優(yōu)勢(shì)品牌主要有:

德國(guó)寶德BURKERT,德國(guó)BOSCH-REXROTH博世力士樂(lè),德國(guó)FESTO費(fèi)斯托,

德國(guó)STEIMEL施*泵,德國(guó)HIRSCHMAN赫斯曼,德國(guó)HYDAC賀德克,

德國(guó)IFM易福門(mén),德國(guó)TURCK圖爾克,德國(guó)MURR穆?tīng)?,德?guó)HAWE哈威,

美國(guó)紐曼帝克,美國(guó)AB,美國(guó)FAIRCHILD仙童,美國(guó)DENISON丹尼遜,

德國(guó)P F倍加福,德國(guó)BALLUFF巴魯夫,德國(guó)SICK施克,德國(guó)E H,

意大利UNIVER氣動(dòng),意大利ATOS阿托斯,美國(guó)VICKERS威格士,

德國(guó)GSR閥,法國(guó)CROUZET高諾斯,德國(guó)PILZ皮爾茲繼電器,

德國(guó)SCHMERSAL施邁賽,德國(guó)SIEMENS西門(mén)子,美國(guó)ROSS閥,

美國(guó)MAC電磁閥,美國(guó)PARKER派克,美國(guó)MOOG穆格伺服閥,

美國(guó)派克電磁閥,美國(guó)威格士電磁閥,美國(guó)ASCO阿斯卡,

德國(guó)STAUFF西德福,德國(guó)NEGELE耐格,德國(guó)EMG伺服閥,

德國(guó)MAHLE馬勒,德國(guó)海隆HERION,英國(guó)諾冠NORGREN,

美國(guó)UE壓力開(kāi)關(guān),美國(guó)MTS位移傳感器,

以及法國(guó)高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

日本大金,日本SUNX,日本黑田精工,日本東京美.日本SMC。

公司具有豐富的氣動(dòng)工控液壓產(chǎn)品銷(xiāo)售經(jīng)驗(yàn),多年來(lái)與世界各國(guó)的較有名廠(chǎng)商相繼建立了良好的合作關(guān)系,所銷(xiāo)產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)各工業(yè)領(lǐng)域,公司依仗品牌的優(yōu)勢(shì),以靈活的經(jīng)營(yíng)方式,多渠道,*地為客戶(hù)提供先進(jìn)的自動(dòng)化產(chǎn)品。

在此歡迎來(lái)電垂詢(xún),我們將竭誠(chéng)為您服務(wù),客戶(hù)的滿(mǎn)意,就是我們的成功!

德國(guó)EPRO,EPRO傳感器,EPRO探頭,EPRO模塊,PR6424,PR6426,PR9268,PR9350,MMS6000

應(yīng)用領(lǐng)域 化工,石油,汽車(chē)及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

1. 產(chǎn)品基礎(chǔ)信息

  • 型號(hào):61340-PACX-0001

  • 類(lèi)型氣動(dòng)高真空蝶形控制閥(金屬密封,快響應(yīng)型)

  • 品牌:VAT Group(瑞士,專(zhuān)精超高真空解決方案)

  • 核心定位:面向半導(dǎo)體、光伏及科研領(lǐng)域的高動(dòng)態(tài)流量控制場(chǎng)景


2. 關(guān)鍵設(shè)計(jì)特性

① 閥體與密封系統(tǒng)

  • 材質(zhì)組合

    • 閥體:316L不銹鋼(電解拋光,Ra ≤ 0.5 μm)

    • 蝶板:鈦合金鍍Al?O?(抗等離子體腐蝕,適用于刻蝕/CVD工藝)

    • 密封:全金屬密封(金包覆不銹鋼,漏率 <1×10?? mbar·l/s)

② 驅(qū)動(dòng)與控制

  • 執(zhí)行機(jī)構(gòu)

    • 氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)(雙作用),響應(yīng)時(shí)間 <50 ms(一梯隊(duì))

    • 可選電動(dòng)執(zhí)行器(步進(jìn)電機(jī),開(kāi)度控制精度 ±0.1%)

  • 反饋系統(tǒng)

    • 標(biāo)配模擬量輸出(0-10V對(duì)應(yīng)0-100%開(kāi)度)

    • 可選數(shù)字通信(PROFIBUS DP或DeviceNet)

③ 法蘭與連接

  • 法蘭標(biāo)準(zhǔn)

    • ISO-KF(DN40至DN160)、CF(2.75"至8")

    • 支持SEMI標(biāo)準(zhǔn)定制(如NW法蘭)

  • 接口選項(xiàng)

    • 氣路接口:1/4" NPT或Swagelok VCR

    • 電氣接口:M12航空插頭(IP67防護(hù))


3. 性能參數(shù)詳解

參數(shù)類(lèi)別技術(shù)指標(biāo)測(cè)試條件
真空范圍10?1? mbar 至 大氣壓氦質(zhì)譜檢漏(金屬密封)
流量系數(shù)(Cv)1.2空氣介質(zhì),ΔP=1 bar
耐溫性-20°C 至 +200°C(金屬密封)烘烤模式(持續(xù)48小時(shí))
耐腐蝕性兼容Cl?、HBr、WF?等(需指定鍍層)ASTM G31加速腐蝕測(cè)試
機(jī)械壽命>10?次循環(huán)(金屬密封)MIL-STD-810G振動(dòng)測(cè)試

4. 半導(dǎo)體行業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景

① 刻蝕設(shè)備(Etch)

  • 功能:腐蝕性氣體快速切斷(如Cl?/HBr等離子體環(huán)境)

  • 定制需求:Al?O?鍍層蝶板 + 雙密封結(jié)構(gòu)(冗余設(shè)計(jì))

② 原子層沉積(ALD)

  • 優(yōu)勢(shì)

    • 超快響應(yīng)(<30 ms脈沖控制)匹配前驅(qū)體脈沖注入

    • 漏率 <5×10?1? mbar·l/s 確保薄膜純度

③ 離子注入機(jī)

  • 關(guān)鍵指標(biāo)

    • 無(wú)磁化設(shè)計(jì)(鈦合金材質(zhì))避免束流干擾

    • XHV級(jí)密封(烘烤后漏率維持10?1? mbar·l/s)


5. 選型對(duì)比(同系列型號(hào))

型號(hào)61340-PACX-000161332-KEAF-000161348-PEGH-0001
密封類(lèi)型金屬密封金屬密封PTFE密封
響應(yīng)速度<50 ms<100 ms<80 ms
耐溫上限+200°C+150°C+120°C
適用工藝刻蝕/離子注入CVD/傳輸非腐蝕性氣體

6. 安裝與維護(hù)要點(diǎn)

① 安裝規(guī)范

  • 扭矩控制

    • 法蘭螺栓扭矩 ≤15 Nm(ISO-KF)、≤25 Nm(CF)

  • 對(duì)中要求

    • 軸向偏差 <0.1 mm,角度偏差 <0.5°

② 維護(hù)周期

  • 預(yù)防性維護(hù)

    • 每50萬(wàn)次循環(huán)檢查密封面磨損(原廠(chǎng)提供磨損檢測(cè)工具包)

  • 深度保養(yǎng)

    • 每2年更換驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)潤(rùn)滑脂(VAT專(zhuān)用真空潤(rùn)滑脂 P/N: LUB-VAC-002)

      瑞士VAT高真空蝶形控制閥61340-PACX-0001

    常見(jiàn)問(wèn)題速查

    Q:能否兼容EUV光刻機(jī)的真空環(huán)境?
    → 可以,但需選配特殊潔凈版(后綴加“-EUV”,顆粒釋放率降低50%)

    Q:與MKS 649B的互換性?
    → 需驗(yàn)證法蘭接口和控制信號(hào)匹配,通常需轉(zhuǎn)接板(VAT提供適配方案)

    Q:最小訂單量(MOQ)?
    → 原廠(chǎng)1臺(tái)起訂,批量(≥5臺(tái))可享8%折扣

    優(yōu)勢(shì)供應(yīng):

    商品編號(hào)61328-KAGH-0001

    商品編號(hào)61328-KEGH-0001

    商品編號(hào)61346-PEAH-0001

    商品編號(hào)61332-KEAK-0001

    商品編號(hào)61346-PACE-0001

    商品編號(hào)61348-PEAX-0001

    商品編號(hào)61328-KEGE-0001



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