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瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

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上海茂碩機(jī)械設(shè)備有限公司2018年成立,現(xiàn)在整個(gè)市場(chǎng)有一批受眾用戶,因業(yè)務(wù)發(fā)展需要,所有的產(chǎn)品均從境外采購(gòu)進(jìn)貨,您可以避免國(guó)內(nèi)合作商、辦事處和經(jīng)銷商的分級(jí)合作商,層層盤剝的模式,享受到價(jià)格低、貨期短,而且100%歐洲原裝*的采購(gòu)服務(wù)。

對(duì)于一些德國(guó)產(chǎn)品,我們通過(guò)集中批量采購(gòu)以獲取廠商較大折扣,可以提供比國(guó)內(nèi)市場(chǎng)價(jià)格更低的報(bào)價(jià)。

能夠提供不同國(guó)別、廠商的設(shè)備配件,解決您多處尋找的麻煩和對(duì)產(chǎn)品質(zhì)量的擔(dān)心等,在價(jià)格上我們有很大的優(yōu)勢(shì),公司備有大量的現(xiàn)貨,是國(guó)內(nèi)庫(kù)存量Z多的公司之一,以更專業(yè)的服務(wù),把咨詢,銷售,售后服務(wù)一整套體系做的更完善,讓客戶能夠更放心的購(gòu)買我們的產(chǎn)品,對(duì)我們的服務(wù)有更滿意的評(píng)價(jià)!

我們客戶遍及石化、化工、化纖、鋼鐵、食品、飲料、航空.制藥、采礦、電力、供水及環(huán)保等行業(yè)。

優(yōu)勢(shì)品牌主要有:

德國(guó)寶德BURKERT,德國(guó)BOSCH-REXROTH博世力士樂(lè),德國(guó)FESTO費(fèi)斯托,

德國(guó)STEIMEL施*泵,德國(guó)HIRSCHMAN赫斯曼,德國(guó)HYDAC賀德克,

德國(guó)IFM易福門,德國(guó)TURCK圖爾克,德國(guó)MURR穆爾,德國(guó)HAWE哈威,

美國(guó)紐曼帝克,美國(guó)AB,美國(guó)FAIRCHILD仙童,美國(guó)DENISON丹尼遜,

德國(guó)P F倍加福,德國(guó)BALLUFF巴魯夫,德國(guó)SICK施克,德國(guó)E H,

意大利UNIVER氣動(dòng),意大利ATOS阿托斯,美國(guó)VICKERS威格士,

德國(guó)GSR閥,法國(guó)CROUZET高諾斯,德國(guó)PILZ皮爾茲繼電器,

德國(guó)SCHMERSAL施邁賽,德國(guó)SIEMENS西門子,美國(guó)ROSS閥,

美國(guó)MAC電磁閥,美國(guó)PARKER派克,美國(guó)MOOG穆格伺服閥,

美國(guó)派克電磁閥,美國(guó)威格士電磁閥,美國(guó)ASCO阿斯卡,

德國(guó)STAUFF西德福,德國(guó)NEGELE耐格,德國(guó)EMG伺服閥,

德國(guó)MAHLE馬勒,德國(guó)海隆HERION,英國(guó)諾冠NORGREN,

美國(guó)UE壓力開關(guān),美國(guó)MTS位移傳感器,

以及法國(guó)高諾斯繼電器,日本CKD,日本豐興,日本不二越,

日本大金,日本SUNX,日本黑田精工,日本東京美.日本SMC。

公司具有豐富的氣動(dòng)工控液壓產(chǎn)品銷售經(jīng)驗(yàn),多年來(lái)與世界各國(guó)的較有名廠商相繼建立了良好的合作關(guān)系,所銷產(chǎn)品已廣泛應(yīng)用于國(guó)內(nèi)各工業(yè)領(lǐng)域,公司依仗品牌的優(yōu)勢(shì),以靈活的經(jīng)營(yíng)方式,多渠道,*地為客戶提供先進(jìn)的自動(dòng)化產(chǎn)品。

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應(yīng)用領(lǐng)域 化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

1. 產(chǎn)品概述

  • 型號(hào):61334-KEAE-0001

  • 類型:高真空蝶形控制閥(氣動(dòng)驅(qū)動(dòng),金屬密封)

  • 品牌:VAT Group(瑞士 真空閥門制造商)

  • 適用領(lǐng)域:半導(dǎo)體、光伏、真空鍍膜、科研設(shè)備等


2. 核心參數(shù)

參數(shù)規(guī)格
真空范圍10?? mbar 至 大氣壓(超高真空兼容)
漏率<1×10?? mbar·l/s(金屬密封)
閥體材質(zhì)316L不銹鋼(電解拋光,Ra ≤ 0.8 μm)
密封材質(zhì)全金屬密封(金包覆不銹鋼,耐高溫烘烤)
驅(qū)動(dòng)方式氣動(dòng)執(zhí)行(單/雙作用可選)
響應(yīng)時(shí)間<100 ms(全開至全關(guān))
溫度范圍-20°C 至 +150°C(標(biāo)準(zhǔn)),可選高溫版(+250°C)
法蘭標(biāo)準(zhǔn)ISO-KF、CF 或定制(SEMI標(biāo)準(zhǔn)兼容)
控制信號(hào)可選4-20mA / 0-10V 反饋,或數(shù)字通信(RS485)

3. 產(chǎn)品特點(diǎn)

超高真空性能

  • 適用于XHV(10?? mbar)環(huán)境,滿足半導(dǎo)體ALD、離子注入等嚴(yán)苛工藝需求。

耐腐蝕設(shè)計(jì)

  • 金屬密封(可選PTFE增強(qiáng)涂層),兼容Cl?、HBr、WF?等腐蝕性氣體。

快速響應(yīng)

  • <100 ms開關(guān)速度,適用于動(dòng)態(tài)氣體控制(如CVD脈沖沉積)。

長(zhǎng)壽命

  • 機(jī)械壽命 >10?次循環(huán),維護(hù)周期長(zhǎng),降低設(shè)備停機(jī)時(shí)間。


4. 典型應(yīng)用

行業(yè)設(shè)備/工藝作用
半導(dǎo)體刻蝕(Etch)、ALD/CVD高真空隔離,氣體流量精準(zhǔn)控制
光伏PECVD、濺射鍍膜快速抽真空,維持腔室壓力穩(wěn)定
科研同步輻射、電子顯微鏡超高真空環(huán)境下的氣流調(diào)節(jié)

5. 安裝與維護(hù)

安裝要點(diǎn)

  • 法蘭對(duì)接:使用無(wú)應(yīng)力安裝工具,避免閥體變形(扭矩≤10 Nm)。

  • 氣路連接:確保氣源潔凈(推薦0.1 μm過(guò)濾器)。

維護(hù)建議

  • 常規(guī)檢查:每3個(gè)月檢查密封面磨損情況。

  • 深度維護(hù):每2年或50萬(wàn)次循環(huán)后更換密封組件(原廠維修包可選)。

常見問(wèn)題(FAQ)

Q1:能否替代61332-KEAF-0001?
→ 可以,但需確認(rèn)密封材質(zhì)是否匹配(KEAF為金屬密封,其他型號(hào)可能不同)。

Q2:是否支持EUV光刻機(jī)應(yīng)用?
→ 支持,但需選配超潔凈版本(低顆粒釋放,需特殊訂貨)。

Q3:最小起訂量(MOQ)?
→ 原廠1臺(tái)起訂

瑞士VAT高真空蝶形控制閥61334-KEAE-0001

商品編號(hào)61336-PAAE-0001

商品編號(hào)61336-PEGF-0001

商品編號(hào)61338-PAGX-0001

商品編號(hào)61336-PECX-0001

商品編號(hào)661334-KACX-000

商品編號(hào)61340-PEGF-0001

商品編號(hào)61340-PEGQ-0001

商品編號(hào)61338-PEAK-0001

商品編號(hào)61344-PEAE-0001

商品編號(hào)61328-KEAX-0001

商品編號(hào)61332-KEAX-0001

商品編號(hào)61328-KEGF-0001

商品編號(hào)61348-PECK-0001

商品編號(hào)61346-PEGX-0001

商品編號(hào)61344-PACX-0001



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